Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
應(yīng)用：
原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1.高精度控溫：
采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場(chǎng)景。
2.多場(chǎng)景適配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| CHILLER常溫高精度系列 | |||||||
| 型號(hào) | FLS-001S FLS-001WS |
FLS-002S FLS-002WS |
FLS-003S FLS-003WS |
FLS-004S FLS-004WS |
FLS-006S FLS-006WS |
FLS-008S FLS-008WS |
FLS-010S FLS-010WS |
| 溫度范圍 | 15℃～25℃ | ||||||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@20℃ | 2.5kW | 6kW | 9kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等 | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 0.6m3/h@23℃ | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | ||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏液報(bào)警進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)/380?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | |||||
| 總用電功率（MAX） | 2kW | 3.5kW | 4.5kW | 5kW | 7kW | 10.5kW | 12.5kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 40*80*100 | 40*80*115 | 50*95*130 | 50*95*130 | 50*100*140 | 80*100*165 | 90*110*165 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能 可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI認(rèn)證 |
||||||
1.額定測(cè)試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊(cè)有更新恕不另行通知，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。
3.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。
4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
體.jpg)
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
體封測(cè).jpg)
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
應(yīng)用：
CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。
2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
4、氟化液損耗?。禾厥獾拿芊夂脱h(huán)設(shè)計(jì)，降低高溫下導(dǎo)致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對(duì)工藝制程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| CHILLER高溫系列雙通道 | |||||||||
| 型號(hào) | FLTZH-2W-2T | FLTZH-5W-2T | FLTZH-10W-2T | FLTZH-5W-2T-HV | |||||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | 50℃～+300℃ | |||||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | ||||||||
| 溫控點(diǎn)控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||||
| CHUCK溫度控制模式（通信） | |||||||||
| 溫差控制 | 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差 | ||||||||
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | ||||||||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||||||||
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||||||||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||||||||
| 加熱功率 | 2.5kW | 2.5kW | 5.5kW | 5.5kW | 10kW | 10kW | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 220 ℃ | 2.5kW | 2.5kW | 5.5kW | 5.5kW | 10kW | 10kW | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 2.5kW | 2.5kW | 5.5kW | 5.5kW | 10kW | 10kW | 5.5kW | 5.5kW | |
| 100 ℃ | 1.5kW | 1.5kW | 3.5kW | 3.5kW | 6kW | 6kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| 50 ℃ | 0.5kW | 0.5kW | 1.1kW | 1.1kW | 2kW | 2kW | 1.1kW | 1.1kW | |
| 流量/壓力 | 8LPM 4bar | 8LPM 4bar | 8LPM 4bar | 8LPM 4bar | 15LPM 4bar | 15LPM 4bar | 8LPM 4bar | 8LPM 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù) | ||||||||
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | ||||||||
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1/2 | Rc1/2 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1/2 | |||||
| 冷卻水流量 | 20LPM max? at 25℃ | 40LPM max? at 25℃ | 70LPM max? at 25℃ | 40LPM max? at 25℃ | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | |||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | 氟化液 | 氟化液 | 氟化液 | |||||
| 外形尺寸 cm | 45*85*130 | 45*85*145 | 55*105*160 | 45*110*145 | |||||
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | 220V 三相四線制 32A | 220V 三相四線制 32A | 220V 三相四線制 32A | |||||
| CHILLER高溫系列單通道 | |||
| 型號(hào) | FLTZH-5W | FLTZH-10W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | |
| 溫控點(diǎn)控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | |
| CHUCK本體溫度控制模式（通信） | CHUCK本體溫度控制模式（通信） | ||
| 溫差控制 | 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差 | 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差 | |
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | |
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | 通過通信 | |
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | |
| 加熱功率 | 5.5kW | 10kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 220 ℃ | 5.5kW | 10kW |
| 150 ℃ | 5.5kW | 10kW | |
| 100 ℃ | 3.5kW | 6kW | |
| 50 ℃ | 1.1kW | 2kW | |
| 流量/壓力 | 8LPM 4bar | 8LPM 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | 7寸觸摸屏 | |
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù) | |
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc3/4 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | |
| 冷卻水流量 | 20LPM max? at 25℃ | 35LPM max? at 25℃ | |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | 氟化液 | |
| 外形尺寸 cm | 45*85*90 | 55*105*120 | |
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | 220V 三相四線制 32A | |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷；
同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過板換換熱器將冷量持續(xù)輸送給目標(biāo)設(shè)備，并循環(huán)使用。
| CHILLER超純水溫控系列 | ||||||||
| 型號(hào) | FLTZ-U-003W | FLTZ-U-D001W | FLTZ-U-D002W | FLTZ-U-D003W | ||||
| 通道類型 | 1-loop?independent | 2-loop?independent | 2-loop?independent | 2-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號(hào) | CH1 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 |
| 循環(huán)方式 | 沖洗型 | 循環(huán)型 | 循環(huán)型 | 循環(huán)型 | 沖洗型 | 循環(huán)型 | 沖洗型 | |
| 溫度范圍 | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 9.4kW@20℃ | 0.6kW@20℃ | 0.6kW@20℃ | 1.5kW@20℃ | 6.3kW@20℃ | 3kW@20℃ | 6.2kW@20℃ | |
| 加熱能力 | 10kW | 0.6kW | 2kW | 1.5kW | 12.5kW | 3kW | 12.5kW | |
| 循環(huán)液類型/電阻率 | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | ||||
| 循環(huán)液流量壓力 | 45LPM@0.4MPa | 6LPM@0.45MPa | 10LPM@0.43MPa | 15LPM@0.45MPa | 25LPM@0.43MPa | 18LPM@0.45MPa | 30LPM@0.43MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc3/4 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 2m3/h | 1.3m3/h | 1.3m3/h | 2m3/h | 2m3/h | 3.8m3/h | 3.8m3/h | |
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc3/4 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | |
| 安全裝置 | 過載保護(hù)功能 | 壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù)。 | ||||||
| 電源保護(hù)功能 | 電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù) | |||||||
| 液位保護(hù) | 低流量、低液位等保護(hù) | |||||||
| 安全聯(lián)鎖裝置 | EMO+INTERLOCK | |||||||
| 上鎖掛牌裝置 | LOTO裝置 | |||||||
| 漏液檢測(cè)裝置 | 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON | |||||||
| 通訊類型 | 支持多種通訊協(xié)議 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | 環(huán)境溫度 | 10~40℃ | ||||||
| 環(huán)境濕度 | 30~70%RH | |||||||
| 電源 | 220VAC±10%，三相(可定制) | |||||||
| 外形尺寸cm | 45*90*150 | 43*90*150 | 45*120*150 | 65*115*170 | ||||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動(dòng)非常小，約為常規(guī)壓縮。機(jī)的1/2，結(jié)合多重降噪措施，極度安靜。
環(huán)境適應(yīng)性高:變頻機(jī)組采用低頻啟動(dòng)，啟動(dòng)電流小，對(duì)電網(wǎng)沖擊小。對(duì)電壓的適應(yīng)性較強(qiáng)，可寬電壓范圍下啟動(dòng)。
壽命長(zhǎng):變頻機(jī)組不會(huì)頻繁啟停，有效降低機(jī)組啟停時(shí)的損耗，延長(zhǎng)機(jī)組壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-001W | FLTRZ-003W | FLTRZ-006W | FLTRZ-011W | |
| FLTRZ-001 | FLTRZ-003 | FLTRZ-006 | FLTRZ-011 | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 5600L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-001WS | FLTRZ-003WS | FLTRZ-006WS | FLTRZ-011WS | |
| FLTRZ-001S | FLTRZ-003S | FLTRZ-006S | FLTRZ-011S | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 5600L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-201W | FLTRZ-203W | FLTRZ-206W | FLTRZ-211W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -25℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 50℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| 0℃ | 2.7kW | 6.4kW | 11.7kW | 22.5kW | |
| -10℃ | 2.1kW | 5.2kW | 9.5kW | 19kW | |
| -20℃ | 1.3kW | 3.4kW | 6.2kW | 12.4kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 6000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-401W | FLTRZ-403W | FLTRZ-406W | FLTRZ-411W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -40℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3.5kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 50℃ | 3.5kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| 0℃ | 2.7kW | 6.4kW | 11.7kW | 22.5kW | |
| -15℃ | 1.5kW | 3.7kW | 6.8kW | 13kW | |
| -25℃ | 1kW | 2.6kW | 5kW | 9.6kW | |
| -35℃ | 0.2kW | 0.7kW | 1.5kW | 3kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 6000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.提供冷卻水溫度不能高于15℃，冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-801W | FLTRZ-803W | FLTRZ-806W | FLTRZ-811W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -70℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 20℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| -55℃ | 0.6kW | 1.8kW | 3.5kW | 7kW | |
| -65℃ | 0.3kW | 0.9kW | 1.81kW | 4kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | R744(二氧化碳)/R508B | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 900L/H | 2250L/H | 4400L/H | 8000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 型號(hào) | FLTRZ-D-D3D3W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -25℃?+90℃ | -25℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -10℃ | 5.2kW | 5.2kW | |
| 制冷量AT -20℃ | 3.4kW | 3.4kW | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | M30*1.5 | ||
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 3300L/H | |
| 接管尺寸 | M38*1.5 | ||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz 三相220V 50&60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.支持多通道定制，如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 型號(hào) | FLTRZ-D-E6E6W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -40℃?+90℃ | -40℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -15℃ | 6.8kW | 6.8kW | |
| 制冷量AT -35℃ | 2.2kW | 2.2kW | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | M38*1.5 | ||
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 6000L/H | |
| 接管尺寸 | M45*1.5 | ||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | ||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.支持多通道定制，如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
|||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報(bào)警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。
同時(shí)，觸摸屏可以實(shí)時(shí)顯示氟化液回收狀態(tài)，幫助客戶科學(xué)管控氟化液的使用。
本系統(tǒng)具有優(yōu)良的機(jī)電性能:控制精度高，性能穩(wěn)定，可靠性高;操作簡(jiǎn)便，維護(hù)、維修方便。
| 型號(hào) | FHY-HS01 |
| 環(huán)境溫度 | 15℃-35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 不大于85% |
| 設(shè)備供電 | 單相220V/50HZ（可依據(jù)客戶要求定制） |
| 額定功率 | 1.8kW |
| 最大運(yùn)行電流 | 10A |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 噪聲 | 小于70dB |
| 制冷系統(tǒng)控溫精度 | ±1℃ |
| 真空泵排氣量 | 210L/min(Max) |
| 回收能力（氣態(tài)） | 450ml（氣態(tài)）/H（Max） |
| 回收時(shí)間 | 小于2小時(shí) |
| 氟化液凈損耗率 | 小于10% |
| 蓄冷罐容積 | 5L/8L |
| 制冷劑 | R404A/1.2kg |
| 可回收氟化液類型 | 3M-7100、3M-7200、長(zhǎng)蘆7100、長(zhǎng)蘆7200等易揮發(fā)氟化液 |
| 通訊方式 | RS232/RS485/USB |
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 |
| 循環(huán)回收系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)。 |
| 操作界面 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 |
| 外形尺寸 | L：65cm；W：48cm；H：130cm??可依據(jù)客戶要求定制 |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
雙通道系列? ? ? 所有型號(hào)均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同
| 型號(hào) | FLTZ-D-202W | FLTZ-D-203W | FLTZ-D-B003B203W | |||
| 通道系數(shù) | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 |
| 介質(zhì)溫度范圍 | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | -20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | PLC控制器 | |||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | |||||
| 負(fù)載溫度控制模式（通信） | ||||||
| 出口溫度控制精度 | ±0.1℃ | |||||
| 冷卻能力 | 1kW@-20℃ | 1kW@-20℃ | 2.5kW@-15℃ | 2.5kW@-15℃ | 4kW@-15℃ | 20kW@冷卻水溫度+10℃ |
| 4kW@10℃ | 4kW@10℃ | 6kW@10℃ | 6kW@10℃ | 10kW@10℃ | ||
| 加熱能力 | 1.6kW | 1.6kW | 5.5kW | 5.5kW | 2kW | 5.5kW |
| 介質(zhì)類型、電阻率 | DI?WATER@10~18MΩ·cm | 氟化液 | 氟化液 | |||
| 介質(zhì)流量壓力 | 20LPM@5bar | 20LPM@5bar | 20LPM@3bar | 20LPM@3bar | 20LPM@5bar | 20LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 20℃@2.5m3/h@2~4bar | 20℃@3.5m3/h@2~4bar | 20℃@2.7m3/h@2~4bar | 20℃@3.5m3/h@2~4bar | ||
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | ||
| 通道溫度控制 | PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨(dú)立控制 | |||||
| 每組流量控制 | 15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能 | |||||
| 流量顯示精度 | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM |
| 水箱容積 | 15L | 15L | 15L | 15L | 15L | 15L |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù) | |||||
| 安全聯(lián)鎖裝置 | EMO+INTERLOCK | |||||
| 上鎖掛牌裝置 | LOTO | |||||
| 漏液檢測(cè)裝置 | 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON | |||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | |||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
|||||
| 電源 | 220?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | 220?VAC?±?10%，三相(可定制) | |||
| 總用電功率 | 11kW(49A) | 18kW（48A) | 14.5kW（55A) | |||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | |||
| 外形尺寸cm | 60*85*140 | 75*110*170 | 46*90*187 | |||
| 非標(biāo)定制 | 配離子交換樹脂過濾器 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能 可定制雙通道液位平衡 |
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能 可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證 可定制雙通道液位平衡 |
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能 可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證 可定制雙通道液位平衡 |
|||
三通道系列? ? ?所有型號(hào)均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同
| 型號(hào) | FLTZ-T-B203B205A1W | FLTZ-T-B440A2A2W | FLTZ-T-B210A1C1W | ||||||
| 通道系數(shù) | CH1 | CH2 | CH3 | CH1 | CH2 | CH3 | CH1 | CH2 | CH3 |
| 介質(zhì)溫度范圍 | ?-10~＋60℃ | 30~＋80℃ | ?-10~＋80℃ | ?-40℃~+50℃ | 30℃~+120℃ | 30℃~+50℃ | ?-25℃~+90℃ | 30℃~+90℃ | 25℃~+160℃ |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | PLC控制器 | ||||||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||||
| 負(fù)載溫度控制模式（通信） | |||||||||
| 出口溫度控制精度 | ±0.1℃ | ||||||||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃ | 6kW@冷卻水溫度+10℃ | 3kW@-10℃ | 20kW@-30℃ | 20kW@50℃ | 25kW@35℃ | 10kW@-10℃ | 10kW@30℃ | 4kW@100℃ |
| 16kW@20℃ | 10kW@20℃ | ||||||||
| 加熱能力 | 5.5kW | 5.5kW | 4kW | 5.5kW | 15kW | 5.5kW | 2kW | 7.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型、電阻率 | 氟化液 | 氟化液 | 氟化液 | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 17LPM@7bar | 17LPM@7bar | 17LPM@7bar | 30LPM@11.5bar | 30LPM@11.5bar | 23LPM@10bar | 30LPM@6.5bar | 30LPM@6.5bar | 30LPM@6.5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 20℃@2.7m3/h@2~4bar | 20℃@2.5m3/h@2~4bar | 20℃@1.6m3/h@2~4bar | 20℃@20m3/h@2~4bar | 20℃@7m3/h@2~4bar | 20℃@5m3/h@2~4bar | |||
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 1/4 | Rc1 1/4 | Rc1 1/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 |
| 通道溫度控制 | PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨(dú)立控制 | ||||||||
| 每組流量控制 | 15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能 | ||||||||
| 流量顯示精度 | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM | ±0.5?LPM |
| 水箱容積 | 40L | 40L | 40L | 25L | 25L | 25L | 25L | 25L | 25L |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | 10寸彩色觸摸屏 | |||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù) | ||||||||
| 安全聯(lián)鎖裝置 | EMO+INTERLOCK | ||||||||
| 上鎖掛牌裝置 | LOTO | ||||||||
| 漏液檢測(cè)裝置 | 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON | ||||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||||||||
| 電源 | 220?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率 | 31kW（113A) | 65kW（136A) | 34kW（135A) | ||||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 外形尺寸cm | 70*100*185 | 115*150*210 | 105*135*195 | ||||||
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證 | ||||||||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進(jìn)的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | FLTZ-001 FLTZ-001W |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃(可擴(kuò)展到90℃) | |||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | |||||||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | ||||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | |||||||
| 制冷量@20℃ | 2.5kW | 6kW | 9kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 38kW |
| 加熱能力 | 0.5kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液或DI水等 | |||||||
| 制冷劑類型 | R404A、R410A或R448A | |||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 0.6m3/h@23℃ | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | |||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | |||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | |||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
|||||||
| 電源 | 220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 2.5kW | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | |||||||
| 水冷外形尺寸cm | 40*90*100 | 48*100*115 | 48*100*115 | 50*108*130 | 50*108*140 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*165 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證 | |||||||
| 型號(hào) | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | -25℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-15℃ | 1kW | 2kW | 2.5kW | 4kW | 6kW | 8kW | 12kW |
| 制冷量@-20℃ | 0.8kW | 1.5kW | 2kW | 3.5kW | 5kW | 6.5kW | 10kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液 | ||||||
| 制冷劑類型 | R404A | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | ||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率(max) | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 48*100*115 | 48*100*115 | 50*108*130 | 50*108*140 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*175 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證 | ||||||
| 型號(hào) | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | -40℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-10℃ | 1.5kW | 3kW | 3.2kW | 5kW | 7kW | 9kW | 13kW |
| 制冷量@-30℃ | 0.6kW | 1kW | 1.3kW | 2kW | 2.8kW | 4kW | 5.5kW |
| 加熱能力 | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液 | ||||||
| 制冷劑類型 | R404A | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 25LPM@3bar | 25LPM@3bar | 25LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | ||||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 48*100*115 | 50*108*140 | 50*108*140 | 50*108*150 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*175 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證 | ||||||
| 型號(hào) | FLTZ-803 FLTZ-803W |
FLTZ-805 FLTZ-805W |
FLTZ-806 FLTZ-806W |
FLTZ-808W | FLTZ-8010W | FLTZ-8015W | FLTZ-8025W |
| 溫度范圍 | -80℃～50℃(可擴(kuò)展到100℃) | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@25℃ | 3kW | 4.5kW | 5kW | 6.5kW | 9kW | 14kW | 25kW |
| 制冷量@-55℃ | 1kW | 2.5kW | 2.8kW | 3.2kW | 4.8kW | 7.5kW | 10.2kW |
| 制冷量@-70℃ | 0.6kW | 1.2kW | 1.5kW | 2kW | 2.8kW | 5.5kW | 8kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 2.5kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW | 11kW |
| 制冷劑類型 | R404A/R508B | ||||||
| 介質(zhì)類型 | 氟化液 | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 20LPM@3bar | 25LPM@3bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 2m3/h@23℃ | 3m3/h@23℃ | 3.6m3/h@23℃ | 4.8m3/h@23℃ | 7m3/h@23℃ | 10m3/h@23℃ | 15m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | Rc2 |
| 膨脹罐容積 | 15L | 15L | 15L | 30L | 30L | 40L | 40L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | 10寸彩色觸摸屏 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 8.5kW | 12.5kW | 16kW | 22kW | 27.5kW | 38kW | 60kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 65*90*165 | 70*95*175 | 70*95*175 | 80*120*185 | 80*120*185 | 100*130*185 | 120*160*195 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證 | ||||||
| 型號(hào) | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W | FLTZ-1006W |
| 溫度范圍 | -100℃～90℃（(可擴(kuò)展到100℃)） | ||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||
| 工件負(fù)載溫度控制（選配） | |||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||
| 制冷量@-90℃ | 1.5kW | 3kW | 6kW |
| 加熱能力 | 3.5kW | 5.5kW | 15kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液 | ||
| 制冷劑類型 | 混合冷媒 | ||
| 介質(zhì)流量壓力 | 30LPM@6bar | 30LPM@6bar | 30LPM@6bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 6.6m3/h | 10m3/h | 18m3/h |
| 冷卻水接口 | Rc1 | Rc1 1/2 | Rc2 |
| 膨脹罐容積 | 30L | 30L | 40L |
| 流量控制 | 20LPM~40LPM | 20LPM~40LPM | 20LPM~40LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 10寸彩色觸摸屏 | ||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù) | ||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation) |
||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||
| 總用電功率(max) | 20.5kW | 27.5kW | 55kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
| 水冷外形尺寸cm | 80*120*185 | 100*150*185 | 120*160*195 |
| 非標(biāo)定制 | 帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證 | ||
1.額定測(cè)試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊(cè)有更新恕不另行通知，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。
3.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。
4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar
應(yīng)用原理：
CHILLER單通道變頻設(shè)備集成單級(jí)蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能，為用戶提供相溫度的冷卻介質(zhì)，適用于刻蝕、光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等設(shè)備領(lǐng)域制冷加熱控溫。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1.高效節(jié)能：設(shè)備可通過內(nèi)置變頻器根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷自動(dòng)調(diào)節(jié)泵及壓縮機(jī)頻率，保證機(jī)組運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定適配末端負(fù)載情況，避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，達(dá)到節(jié)能效果。
2.精準(zhǔn)控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.1℃，適用于精密制造場(chǎng)景。
3.多場(chǎng)景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用（采用去離子水可滿足微電子領(lǐng)域用戶冷媒介質(zhì)低導(dǎo)電率需求)。
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動(dòng)補(bǔ)液與?質(zhì)管理，缺液時(shí)?動(dòng)補(bǔ)液；符合三通道?藝設(shè)計(jì)要求，確保信號(hào)/流體的獨(dú)?傳輸與精準(zhǔn)控制。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | FLTZ-B-P001W | FLTZ-B-D001W | FLTZ-B-T001W | ||||
| 通道類型 | 1-loop?independent | 2-loop?independent | 3-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號(hào) | CH1 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH3 |
| 溫度范圍 | 25~30℃ | -20~90℃ | 常溫~90℃ | 10~90℃ | 10~90℃ | 10~90℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 21kW@25℃ | 35kW@5℃ | 30kW@PCW+10℃ | 7kW@10℃ | 3kW@10℃ | 8kW@10℃ | |
| 加熱能力 | 2kW | 4kW | 38kW | 2kW | 4kW | 6kW | |
| 循環(huán)液類型/電導(dǎo)率 | DI WATER @10~18MΩ·cm | 乙二醇水溶液 | 乙二醇水溶液 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | |
| 循環(huán)液流量壓力 | 80LPM@0.5MPa | 25LPM@0.4MPa | 25LPM@0.4MPa | 35LPM@0.5MPa | 35LPM@0.5MPa | 35LPM@0.5MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc1 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 3.6m3/h | 6m3/h | 5.5m3/h | 3.5m3/h | |||
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc1 | Rc1?1/4 | Rc1 | ||||
| 安全裝置 | 過載保護(hù)功能 | 壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù) | |||||
| 電源保護(hù)功能 | 電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù) | ||||||
| 液位保護(hù) | 低流量、低液位等保護(hù) | ||||||
| 安全聯(lián)鎖裝置 | EMO+INTERLOCK | ||||||
| 上鎖掛牌裝置 | LOTO裝置 | ||||||
| 漏液檢測(cè)裝置 | 設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè) | ||||||
| 通訊類型 | 支持多種通訊協(xié)議 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等 | |||||
| 安裝環(huán)境 | 環(huán)境溫度 | 10~40℃ | |||||
| 環(huán)境濕度 | 30~70%RH | ||||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 電源 | 220VAC±10%，三相(可定制) | ||||||
| 外形尺寸cm | 60*105*135 | 78*100*190 | 85*100*180 | ||||
| 型號(hào) | FLTZ-B-F001W | ||||
| 通道類型 | 4-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號(hào) | CH1 | CH2 | CH3 | CH4 |
| 溫度范圍 | -20~90℃ | -20~90℃ | 30~120℃ | 30~120℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 12kW@10℃ | 12kW@10℃ | 5kW@30℃ | 5kW@30℃ | |
| 加熱能力 | 6kW | 6kW | 20kW | 40kW | |
| 循環(huán)液類型/電導(dǎo)率 | 氟化液HT-135 | 氟化液HT-135 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | |
| 循環(huán)液流量壓力 | 45LPM@0.5MPa | 45LPM@0.5MPa | 45LPM@0.5MPa | 50LPM@0.5MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 1.5m3/h | 1.5m3/h | 2.3m3/h | 3.5m3/h | |
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc1?1/2 | ||||
| 安全裝置 | 過載保護(hù)功能 | 壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù) | |||
| 電源保護(hù)功能 | 電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù) | ||||
| 液位保護(hù) | 低流量、低液位等保護(hù) | ||||
| 安全聯(lián)鎖裝置 | EMO+INTERLOCK | ||||
| 上鎖掛牌裝置 | LOTO裝置 | ||||
| 漏液檢測(cè)裝置 | 設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè) | ||||
| 通訊類型 | 支持多種通訊協(xié)議 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等 | |||
| 安裝環(huán)境 | 環(huán)境溫度 | 10~40℃ | |||
| 環(huán)境濕度 | 30~70%RH | ||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||
| 電源 | 220VAC±10%，三相(可定制) | ||||
| 外形尺寸cm | 120*160*185 | ||||
1.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。
2.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
適用范圍
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；
基于經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
對(duì)于靜電卡盤(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝；
快速和準(zhǔn)確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求；
低能耗，空間占地小，同時(shí)還能夠穩(wěn)定的控制溫度。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER有五款款型號(hào)可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制
重要功能和優(yōu)勢(shì)
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導(dǎo)熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)，同時(shí)只有在有負(fù)載時(shí)輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時(shí)，冷熱部件沒有與導(dǎo)熱液直接接觸
·動(dòng)態(tài)控溫，精準(zhǔn)控制過程溫度，快速溫度響應(yīng)
·溫度漂移保護(hù)功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體
| 型號(hào) | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| ?-10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| ?-20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
| 泵類型 | 直流磁力泵 | |||
| 壓力（bar） | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流體 | Galden HT135 | |||
| 冷卻水溫度 | DI＜20℃ | |||
| 冷卻水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA開啟溫度 | ＜30℃ | |||
| CDA壓力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m3/h | |||
| CDA露點(diǎn)溫度 | ≤30℃ | |||
| 電源電壓 | AC208V，三相電壓 | |||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1.防泄漏設(shè)計(jì)，更安全：
系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，管路處于負(fù)壓狀態(tài)，即使管道破裂也不會(huì)泄露貴重介質(zhì)。對(duì)需要將溫控裝備集成在主機(jī)內(nèi)部，又擔(dān)心漏液導(dǎo)致安全風(fēng)險(xiǎn)，負(fù)壓溫控設(shè)備可以從根本上防止漏液出現(xiàn)，安全性更高。
2.精準(zhǔn)控溫：
采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.3℃，適用于精密制造場(chǎng)景。
3.多場(chǎng)景適配：
支持純水、乙二醇、導(dǎo)熱油等不同介質(zhì)使用。
| 設(shè)備名稱 | 負(fù)壓循環(huán)溫控設(shè)備 | |||
| 設(shè)備型號(hào) | ZLFQ-30 | ZLFQ-80 | ZLFQ-180 | |
| 額定換熱量 | 30kW | 80kW | 180kW | |
| 一次側(cè) （介質(zhì)側(cè)） |
工作介質(zhì) | 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等 | 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等 | 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等 |
| 額定流量 | 60LPM | 150LPM | 300LPM | |
| 儲(chǔ)液容積 | 60L | 120L | 180L | |
| 供回液溫度 | 25/35℃ | 25/35℃ | 25/35℃ | |
| 溫控精度 | ±0.3℃ | ±0.3℃ | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽氣量 | 75m3/h | 130m3/h | 250m3/h | |
| 負(fù)壓壓頭 | 70KPA | 70KPA | 70KPA | |
| 泵浦配置 | 1+1冗余 | 1+1冗余 | 1+1冗余 | |
| 接口尺寸 | Rc1 | Rc1 1/4 | Rc2 | |
| 二次側(cè) （冷卻側(cè)） |
冷卻介質(zhì) | PCW | PCW | PCW |
| 冷卻流量 | 2.5m3/h | 6m3/h | 15m3/h | |
| 過濾精度 | 50um | 50um | 50um | |
| 接口尺寸 | Rc3/4 | Rc1 | Rc2 | |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器，前饋調(diào)節(jié)+控滯后PID算法 | |||
| 通訊協(xié)議 | RS485串口MODBUS RTU協(xié)議/以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||
| 供液泄露率 | 負(fù)壓循環(huán)無(wú)泄漏 | |||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；設(shè)備過載保護(hù)；低液位保護(hù)等 | |||
| 其他功能 | 自動(dòng)泄露檢測(cè)、自動(dòng)排液、自動(dòng)補(bǔ)液等功能 | |||
| 電源 | AC220V/50HZ，6A(max) | AC220V/50HZ，8A(max) | AC220V/50HZ，12A(max) | |
| 外形尺寸cm | 80*70*185 | 130*70*185 | 130*105*185 | |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation