雙通道直冷機(jī)的核心原理在于將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出至目標(biāo)控制元件的換熱器進(jìn)行換熱，從而實(shí)現(xiàn)對控制對象的快速降溫。相較于傳統(tǒng)的流體或氣體換熱方式，其換熱的能力通?？捎兴嵘?，尤其適用于換熱面積小但換熱量大的場景。該設(shè)備采用雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)，兩個(gè)單獨(dú)的制冷回路可分別針對不同測試工位進(jìn)行溫度調(diào)控，每個(gè)通道均配備單獨(dú)的壓縮機(jī)、膨脹閥及溫度傳感器，確保溫控過程的單獨(dú)性與準(zhǔn)確性。
在并行溫控優(yōu)勢方面，首先體現(xiàn)在溫度控制的同步性上。半導(dǎo)體封裝測試中，常需對同一批次的多個(gè)芯片或模塊進(jìn)行相同或不同溫度條件的測試。雙通道直冷機(jī)可通過兩個(gè)通道同時(shí)輸出不同的目標(biāo)溫度，如一個(gè)通道維持零下低溫環(huán)境，另一個(gè)通道保持常溫環(huán)境，且每個(gè)通道的控溫精度高，滿足不同測試場景的嚴(yán)苛要求。
其次，該設(shè)備具備快速響應(yīng)能力。其采用的電子膨脹閥可根據(jù)實(shí)時(shí)溫度反饋迅速調(diào)節(jié)制冷劑流量，配合PLC控制器及模糊PID算法，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的快速升降。在從常溫切換至低溫環(huán)境時(shí)，設(shè)備可在短時(shí)間內(nèi)完成溫度過渡，且波動幅度控制在允許范圍內(nèi)，縮短測試周期。
再者，雙通道設(shè)計(jì)具有方便的操作方式。操作員可通過彩色觸摸屏分別設(shè)定兩個(gè)通道的溫度、壓力及運(yùn)行時(shí)間等參數(shù)，并實(shí)時(shí)監(jiān)控各通道的運(yùn)行狀態(tài)。同時(shí)，設(shè)備支持以太網(wǎng)接口的TCP/IP協(xié)議，可接入工廠的中控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制與數(shù)據(jù)記錄，便于批量測試的集中管理。
在應(yīng)用實(shí)踐中，雙通道直冷機(jī)已廣泛用于半導(dǎo)體封裝后的高低溫沖擊測試、熱循環(huán)測試等環(huán)節(jié)。在芯片封裝測試廠中，該設(shè)備同時(shí)對兩個(gè)批次的芯片進(jìn)行寬泛的溫度循環(huán)測試，每個(gè)通道單獨(dú)記錄溫度變化曲線，測試完成后可通過U盤導(dǎo)出Excel格式的數(shù)據(jù)，為產(chǎn)品可靠性分析提供準(zhǔn)確依據(jù)，滿足了部分特殊芯片的苛刻環(huán)境測試需求。
設(shè)備的安全性能同樣值得關(guān)注。其配備了相序斷相保護(hù)、壓力保護(hù)及過載繼電器等多重安全裝置，當(dāng)某一通道出現(xiàn)異常時(shí)，系統(tǒng)會自動切斷該通道的運(yùn)行并發(fā)出警告信號，不影響另一通道的正常工作，確保測試過程的連續(xù)性與安全性。
雙通道直冷機(jī)通過并行溫控設(shè)計(jì)、換熱的能力及靈活的操作方式，在半導(dǎo)體封裝測試中展現(xiàn)出應(yīng)用價(jià)值。其不僅提升了測試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，也為半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了可靠的溫控解決方案。
FLS常溫高精度系列
適用范圍 應(yīng)用：原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1.高精度控溫：采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。2.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 …
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FLTZH高溫系列
適用范圍 應(yīng)用：CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動…
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FLTZ-U超純水溫控系列
適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介…
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FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍 高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。 快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。 超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動非…
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AET高速光模塊熱流儀
適用范圍 運(yùn)用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?。非接觸測試:避免機(jī)械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險(xiǎn):沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機(jī)進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品…
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精密恒溫恒濕機(jī)組
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染
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FLTZ變頻多通道系列Chiller
FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
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LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)…
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一、熱力學(xué)原理與系統(tǒng)構(gòu)成
刻蝕直冷機(jī)etch chiller的工作基礎(chǔ)建立在蒸氣壓縮制冷循環(huán)之上，但其技術(shù)實(shí)現(xiàn)路徑與傳統(tǒng)間接冷卻方式存在本質(zhì)差異。制冷系統(tǒng)通過外界功實(shí)現(xiàn)熱量從低溫物體向高溫物體的轉(zhuǎn)移。直冷機(jī)的核心在于省卻了傳統(tǒng)冷卻系統(tǒng)中載冷劑這一中間傳熱介質(zhì)，采用制冷劑直接蒸發(fā)吸熱的原理，在目標(biāo)控溫元件內(nèi)部完成相變換熱過程。
從系統(tǒng)構(gòu)成來看，刻蝕直冷機(jī)etch chiller包含四大功能模塊：壓縮單元采用多級復(fù)疊技術(shù)，通常由谷輪渦旋壓縮機(jī)組成，負(fù)責(zé)將氣態(tài)制冷劑加壓至高溫高壓狀態(tài)；冷凝單元通過風(fēng)冷或水冷方式使制冷劑液化；膨脹機(jī)構(gòu)采用電子膨脹閥實(shí)現(xiàn)制冷劑節(jié)流降壓；蒸發(fā)單元?jiǎng)t直接集成在刻蝕設(shè)備的冷卻板內(nèi)部。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特別適合于半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中換熱面積有限但熱負(fù)荷較高的應(yīng)用場景。
二、準(zhǔn)確控溫機(jī)制分析
半導(dǎo)體刻蝕工藝通常要求溫度控制精度達(dá)到規(guī)定范圍以內(nèi)，刻蝕直冷機(jī)etch chiller通過三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)：在傳感器配置方面，系統(tǒng)在蒸發(fā)器進(jìn)出口、壓縮機(jī)吸排氣端等多點(diǎn)布置PT100溫度傳感器和壓力變送器，實(shí)時(shí)監(jiān)測制冷劑狀態(tài)參數(shù)；熱力學(xué)設(shè)計(jì)方面，采用混合制冷劑，優(yōu)化蒸發(fā)溫度與刻蝕工藝需求的匹配度。
刻蝕直冷機(jī)etch chiller通過”高溫高壓制冷劑旁通回路”實(shí)現(xiàn)快速升溫功能，解決了傳統(tǒng)系統(tǒng)在變溫工況下響應(yīng)滯后的問題。這種設(shè)計(jì)使系統(tǒng)在高溫運(yùn)行狀態(tài)下仍能迅速切換至低溫模式，升降溫速率較間接冷卻系統(tǒng)有所提升，滿足了刻蝕工藝中對快速溫度切換的需求。
三、半導(dǎo)體刻蝕中的技術(shù)適配性
在干法刻蝕應(yīng)用中，反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體產(chǎn)生大量瞬時(shí)熱負(fù)荷，傳統(tǒng)水冷系統(tǒng)因熱容限制常出現(xiàn)溫度超調(diào)。
濕法刻蝕對溫度要求更嚴(yán)謹(jǐn)，微小的偏差可能導(dǎo)致刻蝕速率變化超過規(guī)定范圍內(nèi)。刻蝕直冷機(jī)etch chiller的蒸發(fā)溫度閉環(huán)控制配合變頻泵調(diào)節(jié)冷媒流量，確保了槽液溫度的均勻性。特別在深硅刻蝕等長時(shí)間工藝中，系統(tǒng)內(nèi)置的膨脹罐維持了制冷劑流量穩(wěn)定，避免了因熱負(fù)荷波動引起的刻蝕差異。
四、系統(tǒng)可靠性與維護(hù)特性
半導(dǎo)體制造對設(shè)備穩(wěn)定性的要求較為嚴(yán)格，刻蝕直冷機(jī)etch chiller從三個(gè)方面保障持續(xù)運(yùn)行：在冗余設(shè)計(jì)上，關(guān)鍵部件如壓縮機(jī)、水泵采用并聯(lián)配置，支持在線切換；安全防護(hù)方面設(shè)置高壓保護(hù)、相序保護(hù)和漏液檢測等多重機(jī)制。
實(shí)際運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示，在連續(xù)工作條件下，刻蝕直冷機(jī)etch chiller配備的7英寸觸摸屏可記錄溫度曲線和警告信息，便于集成到半導(dǎo)體工廠的監(jiān)控系統(tǒng)。這種設(shè)計(jì)既滿足了晶圓廠對設(shè)備可追溯性的要求，也為預(yù)防性維護(hù)提供了數(shù)據(jù)支持。
刻蝕直冷機(jī)etch chiller憑借其直接換熱的原理優(yōu)勢，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。從熱力學(xué)角度看，該系統(tǒng)規(guī)避了傳統(tǒng)冷卻方式中的傳熱中間環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了更快的熱響應(yīng)速度和更高的溫度穩(wěn)定性，以滿足半導(dǎo)體工業(yè)不斷演進(jìn)的生產(chǎn)需求。
FLS常溫高精度系列
適用范圍 應(yīng)用：原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1.高精度控溫：采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。2.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 …
詳細(xì)信息FLTZH高溫系列
適用范圍 應(yīng)用：CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測試需求。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動…
詳細(xì)信息FLTZ-U超純水溫控系列
適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介…
詳細(xì)信息FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍 高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。 快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。 超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動非…
詳細(xì)信息AET高速光模塊熱流儀
適用范圍 運(yùn)用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?。非接觸測試:避免機(jī)械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險(xiǎn):沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機(jī)進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品…
詳細(xì)信息精密恒溫恒濕機(jī)組
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染
詳細(xì)信息FLTZ變頻多通道系列Chiller
FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細(xì)信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細(xì)信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)…
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一、雙通道冷水機(jī)的技術(shù)架構(gòu)與工作原理
雙通道冷水機(jī)主要由加熱模塊與制冷模塊兩大部分構(gòu)成，二者通過控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)協(xié)同工作。加熱模塊通常采用管道式加熱方式，這種加熱方式能夠使熱量均勻分布，減少局部過熱現(xiàn)象，提高加熱效率。制冷模塊則多采用壓縮機(jī)制冷技術(shù)，通過制冷劑的循環(huán)相變來吸收熱量，實(shí)現(xiàn)溫度的降低。
在工作過程中，系統(tǒng)通過溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測被測材料的溫度變化，并將數(shù)據(jù)傳輸至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)的溫度參數(shù)和實(shí)時(shí)監(jiān)測數(shù)據(jù)，對加熱模塊和制冷模塊進(jìn)行準(zhǔn)確調(diào)節(jié)。當(dāng)溫度低于設(shè)定值時(shí)，加熱模塊自動啟動，快速提升溫度；當(dāng)溫度高于設(shè)定值時(shí)，制冷模塊開始工作，及時(shí)降低溫度，從而實(shí)現(xiàn)對材料溫度的準(zhǔn)確控制。
二、雙通道冷水機(jī)在材料測試中的具體應(yīng)用
1、高低溫環(huán)境下的材料性能測試
在工業(yè)制造、汽車制造等領(lǐng)域，材料常常需要在苛刻溫度環(huán)境下工作。雙通道冷水機(jī)能夠模擬寬泛溫度范圍，滿足不同材料在高低溫環(huán)境下的性能測試需求。
2、材料老化測試
材料在長期使用過程中會受到溫度變化的影響而發(fā)生老化。雙通道冷水機(jī)可以通過設(shè)定周期性的溫度變化程序，模擬材料在實(shí)際使用環(huán)境中的溫度波動，加速材料老化過程，從而縮短材料老化測試的時(shí)間。在老化測試中，系統(tǒng)按照一定的溫度循環(huán)程序運(yùn)行，能夠快速評估橡膠的硬度、彈性等性能隨時(shí)間的變化情況。
3、復(fù)合材料界面性能測試
對于復(fù)合材料而言，界面性能是影響其整體性能的關(guān)鍵因素。雙通道冷水機(jī)可以在材料制備和測試過程中準(zhǔn)確控制溫度，研究溫度對復(fù)合材料界面結(jié)合強(qiáng)度的影響。
三、雙通道冷水機(jī)的優(yōu)勢與特點(diǎn)
1、寬溫度范圍與高精度控制
該系統(tǒng)具有寬廣的溫度調(diào)節(jié)范圍，能夠覆蓋從低溫到高溫的多個(gè)溫度區(qū)間，滿足不同材料在各種溫度條件下的測試需求。同時(shí)，為材料測試提供了準(zhǔn)確的溫度環(huán)境，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
2、快速升降溫與穩(wěn)定保持
雙通道冷水機(jī)具備快速升降溫的能力，能夠在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)溫度的急劇變化。在溫度保持階段，系統(tǒng)能夠控制溫度波動，使溫度穩(wěn)定在設(shè)定值附近，為材料的性能測試提供了穩(wěn)定的環(huán)境。
3、靈活的程序編輯與數(shù)據(jù)記錄
系統(tǒng)支持靈活的程序編輯功能，用戶可以根據(jù)不同的測試需求，編制復(fù)雜的溫度變化程序，實(shí)現(xiàn)對溫度的準(zhǔn)確控制和動態(tài)模擬。此外，系統(tǒng)還具有完善的數(shù)據(jù)記錄功能，能夠?qū)崟r(shí)記錄溫度變化過程中的各項(xiàng)參數(shù)，為材料測試數(shù)據(jù)的分析和研究提供了豐富的素材。
雙通道冷水機(jī)的雙通道冷水機(jī)在材料測試領(lǐng)域?yàn)椴牧峡茖W(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了控溫的技術(shù)支持。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，該系統(tǒng)將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，推動材料科學(xué)的發(fā)展和進(jìn)步。
FLS常溫高精度系列
適用范圍 應(yīng)用：原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1.高精度控溫：采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。2.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 …
詳細(xì)信息FLTZH高溫系列
適用范圍 應(yīng)用：CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測試需求。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動…
詳細(xì)信息FLTZ-U超純水溫控系列
適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介…
詳細(xì)信息FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍 高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。 快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。 超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動非…
詳細(xì)信息AET高速光模塊熱流儀
適用范圍 運(yùn)用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩础７墙佑|測試:避免機(jī)械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險(xiǎn):沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機(jī)進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品…
詳細(xì)信息精密恒溫恒濕機(jī)組
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染
詳細(xì)信息FLTZ變頻多通道系列Chiller
FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細(xì)信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細(xì)信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)…
詳細(xì)信息
一、日常運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控
在雙通道直冷機(jī)的日常使用中，需密切關(guān)注各項(xiàng)運(yùn)行參數(shù)。通過設(shè)備的顯示系統(tǒng)，實(shí)時(shí)查看溫度、壓力、流量等數(shù)據(jù)。溫度方面，要留意設(shè)備的工作溫度是否在規(guī)定范圍內(nèi)，如部分型號設(shè)備溫度范圍，需確保實(shí)際運(yùn)行溫度不超出該范圍。壓力參數(shù)也不容忽視，需監(jiān)測系統(tǒng)的吸氣壓力、排氣壓力等，像某些型號設(shè)備吸氣壓力控制在合理范圍內(nèi)，要保證壓力值的穩(wěn)定。流量方面，關(guān)注液體的進(jìn)出口流量，確保流量輸出在設(shè)備規(guī)定的范圍內(nèi)，并留意流量控制精度是否符合要求，同時(shí)，觀察設(shè)備運(yùn)行時(shí)是否有異常運(yùn)行聲音或振動，若發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時(shí)停機(jī)檢查，避免問題擴(kuò)大。
二、制冷系統(tǒng)維護(hù)
制冷系統(tǒng)是雙通道直冷機(jī)的核心部分，尤為需要注意其維護(hù)工作。定期檢查壓縮機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)，查看壓縮機(jī)的工作電流、電壓是否正常，潤滑油的油位、油質(zhì)是否符合要求。若發(fā)現(xiàn)潤滑油變質(zhì)或油量不足，應(yīng)及時(shí)更換或添加。對于冷凝器，要定期清理其表面的灰塵和雜物，以保證良好的散熱效果。水冷型冷凝器需檢查冷卻水的流量和溫度，確保冷卻水系統(tǒng)正常運(yùn)行；風(fēng)冷型冷凝器則要檢查風(fēng)扇的運(yùn)轉(zhuǎn)情況，保證風(fēng)扇能正常散熱。膨脹閥作為制冷系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，需檢查其開度是否合適，是否存在堵塞或泄漏現(xiàn)象。此外，要定期檢查制冷劑的壓力和量，若發(fā)現(xiàn)制冷劑泄漏，應(yīng)及時(shí)查找泄漏點(diǎn)并進(jìn)行維修，補(bǔ)充制冷劑時(shí)需按照設(shè)備要求的型號和量進(jìn)行添加。
三、加熱系統(tǒng)維護(hù)
加熱系統(tǒng)的正常運(yùn)行有助于直冷機(jī)在低溫環(huán)境下的工作。檢查加熱元件是否完好，如加熱功率是否符合設(shè)備要求，要確保加熱元件的工作狀態(tài)良好。查看加熱控制系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置是否正確。定期對加熱系統(tǒng)的電路進(jìn)行檢查，確保電線連接牢固，無松動或老化現(xiàn)象，避免因電路問題導(dǎo)致加熱系統(tǒng)故障。
四、循環(huán)系統(tǒng)維護(hù)
循環(huán)系統(tǒng)的正常運(yùn)行是保證直冷機(jī)溫度均勻性和穩(wěn)定性的關(guān)鍵。檢查循環(huán)泵的運(yùn)轉(zhuǎn)情況，查看泵的流量和壓力是否符合要求。定期清理循環(huán)管路中的雜質(zhì)和污垢，防止管路堵塞，影響循環(huán)效果。檢查管路的連接部位是否有泄漏現(xiàn)象，如接口處是否有液體滲出，若發(fā)現(xiàn)泄漏，應(yīng)及時(shí)更換密封件。對于循環(huán)系統(tǒng)中的過濾器，要定期清洗或更換，以保證循環(huán)介質(zhì)的清潔度。
雙通道直冷機(jī)的維護(hù)與保養(yǎng)是一項(xiàng)系統(tǒng)而細(xì)致的工作，只有做好這些維護(hù)與保養(yǎng)工作，才能確保直冷機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行，延長設(shè)備的使用壽命，提高生產(chǎn)效率。
FLS常溫高精度系列
適用范圍 應(yīng)用：原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1.高精度控溫：采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。2.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 …
詳細(xì)信息FLTZH高溫系列
適用范圍 應(yīng)用：CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測試需求。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動…
詳細(xì)信息FLTZ-U超純水溫控系列
適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介…
詳細(xì)信息FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍 高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。 快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。 超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動非…
詳細(xì)信息AET高速光模塊熱流儀
適用范圍 運(yùn)用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?。非接觸測試:避免機(jī)械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險(xiǎn):沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機(jī)進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品…
詳細(xì)信息精密恒溫恒濕機(jī)組
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染
詳細(xì)信息FLTZ變頻多通道系列Chiller
FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細(xì)信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細(xì)信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)…
詳細(xì)信息
一、明確應(yīng)用需求與溫度范圍
先需清晰界定設(shè)備的應(yīng)用場景。不同行業(yè)對雙通道水冷機(jī)的需求有差異，其溫控要求各不相同。以新能源電池測試為例，可能需要在-40℃至100℃的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確控溫。因此，選購前須明確設(shè)備所需的溫度范圍，確保水冷機(jī)能滿足實(shí)際應(yīng)用的溫度要求。同時(shí)，要考慮溫度控制精度，這直接關(guān)系到測試或生產(chǎn)的準(zhǔn)確性。
二、關(guān)注流量與壓力控制能力
流量和壓力是雙通道水冷機(jī)的重要參數(shù)。流量輸出范圍應(yīng)根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇，在一些場景中，流量輸出可能需要在合理范圍之內(nèi)，且流量控制精度可調(diào)。壓力控制方面，要確保水冷機(jī)能夠提供穩(wěn)定的壓力。此外，還需關(guān)注系統(tǒng)是否具備單獨(dú)控制流量和壓力的能力，有些設(shè)備可以單獨(dú)控制流量或壓力，若需要同時(shí)控制，則需確認(rèn)是否采用定制方案。
三、考量制冷與加熱功率
制冷和加熱功率的選擇需與實(shí)際需求相匹配。以低溫系列的設(shè)備為例，不同型號的制冷量和加熱功率差異較大，在選購時(shí)，需根據(jù)設(shè)備的熱負(fù)荷計(jì)算所需的制冷和加熱功率，確保水冷機(jī)在不同溫度點(diǎn)都能提供足夠的冷量和熱量，以維持系統(tǒng)的溫度穩(wěn)定。
四、重視系統(tǒng)的密閉性與安全性
全密閉系統(tǒng)是雙通道水冷機(jī)的重要優(yōu)勢之一，能夠避免導(dǎo)熱介質(zhì)與外界空氣接觸，防止水汽凝結(jié)和介質(zhì)氧化，從而延長導(dǎo)熱介質(zhì)的使用周期。在選購時(shí)，需確認(rèn)設(shè)備是否為全密閉系統(tǒng)，以及是否具備相應(yīng)的安全保護(hù)功能。系統(tǒng)應(yīng)具有自我診斷功能、冷凍機(jī)過載保護(hù)、高壓壓力開關(guān)、過載繼電器、熱保護(hù)裝置、低液位保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障保護(hù)等多種安全保障功能。這些安全措施能夠確保設(shè)備在運(yùn)行過程中的安全性，減少故障發(fā)生的概率。
五、關(guān)注設(shè)備的兼容性與通信功能
隨著工業(yè)自動化的發(fā)展，設(shè)備的兼容性和通信功能日益重要。雙通道水冷機(jī)應(yīng)具備良好的通信接口。這些通信功能能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備與其他系統(tǒng)的遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)傳輸，方便進(jìn)行集中管理和遠(yuǎn)程操作。此外，還需考慮設(shè)備是否支持與其他測試平臺的靈活連接，以滿足不同的應(yīng)用需求。
六、考慮設(shè)備的結(jié)構(gòu)與材質(zhì)
設(shè)備的外殼材質(zhì)和內(nèi)部結(jié)構(gòu)也會影響其性能和使用周期。外殼材質(zhì)一般采用冷軋板噴塑，這種材質(zhì)具有較好的耐腐蝕性和耐磨性。內(nèi)部管路材質(zhì)如不銹鋼等，能夠保證介質(zhì)的純凈度和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。在選購時(shí)，需關(guān)注設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合理，是否便于安裝、維護(hù)和檢修。
選購雙通道水冷機(jī)需要綜合考慮應(yīng)用需求、溫度范圍、流量壓力控制、制冷加熱功率、系統(tǒng)密閉性、安全性、兼容性、通信功能、結(jié)構(gòu)材質(zhì)等多個(gè)方面。只有考量這些因素，才能選購到適合自身需求的設(shè)備，確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和生產(chǎn)效率的提升。
LT系列低溫冷凍機(jī)
適用范圍 冠亞恒溫低溫冷凍機(jī)溫度范圍從-150℃到-5℃，采用二次過冷技術(shù)，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強(qiáng)，性能優(yōu)異。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。 2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請…
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LTZ變頻系列低溫冷凍機(jī)組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機(jī)采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)??冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達(dá)到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Param…
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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機(jī)組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實(shí)現(xiàn)高效換熱控溫；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機(jī)，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
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LG螺桿機(jī)組系列
適用范圍 本系列設(shè)備適?于各類化?、醫(yī)藥、機(jī)械等領(lǐng)域?產(chǎn)?藝?yán)湓?，可提?110℃~30℃冷凍介質(zhì)，可作為冰蓄冷、低溫送?及其它?產(chǎn)?藝所要求的?藝?yán)湓础?產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LG 5℃~30℃ LG -25℃~5℃ LG -45℃~-10℃ LG -60℃~-10℃ LG -80℃~-30℃ LG -110℃~-50℃ 行業(yè)…
詳細(xì)信息2度純水DI制冷控溫機(jī)組
適用范圍 應(yīng)用：特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)該場景。常溫DI水進(jìn)入控溫機(jī)組，出需求目標(biāo)溫度DI水，解決了水在5℃以內(nèi)控溫容易結(jié)凍問題。設(shè)備跟據(jù)不同的進(jìn)水量及溫度自動調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)溫度及冷量達(dá)到目標(biāo)需求的DI溫度。采用變頻調(diào)節(jié)，進(jìn)水流量不穩(wěn)定也可較好的調(diào)節(jié)輸出，達(dá)到較高的控溫精度要求。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features …
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LTZ變頻帶加熱系列
LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機(jī)組采?先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機(jī)運(yùn)?轉(zhuǎn)速，通過電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
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LT-800 桌面款制冷循環(huán)器
桌面款制冷循環(huán)器使用面積小，制冷效率快，有效提升實(shí)驗(yàn)室及小型實(shí)驗(yàn)臺使用操作效率，高可靠性的產(chǎn)品解決用戶需求。
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