









工作原理:
1、試驗機輸出氣流罩將被測試品罩住,形成一個較密閉空間的測試腔,試驗機輸出的高溫或低溫氣流,使被測試品表面溫度發(fā)生劇烈變化,從而完成相應的高低溫沖擊試驗;
冷熱循環(huán)沖擊氣流測試機為確保閃存可在極端溫度環(huán)境(例如: 油氣探勘、重工業(yè)以及航空領(lǐng)域)可正常實現(xiàn)穩(wěn)健的閃存讀/寫操作功能,因此在出廠前需要進行溫度測試,冷熱循環(huán)沖擊氣流測試機海外產(chǎn)品名稱:ThermoStream,ThermoJet,Thermalair,Temptronic,Thermonics
對比于傳統(tǒng)的溫箱,有以下幾個特征:
溫度范圍:-120℃~+300℃
升降溫速率非常快速,150℃~-55℃<10秒
最大氣流量:30m3/h
實時監(jiān)控被測IC真實溫度,實現(xiàn)閉環(huán)反饋,實時調(diào)整氣體溫度;
升降溫時間可控,程序化操作、手動操作、遠程控制
測試條件:環(huán)境溫度20℃,30m3/h,5Bar,壓縮空氣或氮氣
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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多通道獨立控溫,可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等,采用獨立的兩套系統(tǒng),根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷,或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng),系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等,可以有效減少設備尺寸,減少操作步驟。
| 型號 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 導熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環(huán)境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 30~70% | 30~70% |
| 冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
| 冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 30A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫) | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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TEC熱電型chiller
LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業(yè)度身定制-20℃90℃快速和精確的溫度控制,能夠滿足任何嚴苛的工藝要求基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理,lneya帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制,使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝。高效節(jié)能,節(jié)省空間,同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度
重要功能和優(yōu)勢
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導熱液填充量
·低能耗,沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng),同時只有在有負載時輸出,大幅度降低能耗
制熱、直冷時,冷熱部件沒有與導熱液直接接觸
·動態(tài)控溫,精準控制過程溫度,快速溫度響應
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體
| 型號 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| -10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| -20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | >3000W | >6000W | >12000W | |
| 泵類型 | 直流磁力泵 | |||
| 壓力(bar) | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流體 | Galden HT135 | |||
| 冷卻水溫度 | DI<20℃ | |||
| 冷卻水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA開啟溫度 | <30℃ | |||
| CDA壓力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m3/h | |||
| CDA露點溫度 | ≤30℃ | |||
| 電源電壓 | AC208V,三相電壓 | |||
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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設備應?溫度范圍-75~200℃,?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫。最快速率可達到75℃/min。
能夠精確的控制溫度,誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
應?于芯?研發(fā):在芯?設計階段,驗證其在不同溫度下的性能表現(xiàn)。
質(zhì)量控制:在芯??產(chǎn)過程中,進?可靠性測試,確保產(chǎn)品符合標準。
失效分析:通過?低溫測試,分析芯?在極端溫度下的實效模式
| 設備型號 | KSD-705-A | KSD-705-B | KSD-710 | |
| 溫度范圍 | -70℃~+200℃ | -75℃~200℃ | -75℃~200℃ | |
| 溫度精度 | ±0.2℃ | |||
| 升降溫速率 | 最高達75℃/min | |||
| 制冷能力 | 0℃ | 800W | 1000W | 2000W |
| -40℃ | 500W | 800W | 1500W | |
| -55℃ | 300W | 450W | 900W | |
| 測試壓頭規(guī)格 | 75*75mm | 75*75mm | 120*120mm | |
| 溫度監(jiān)測類型 | T型/K型/PT100 | |||
| 控溫點位置 | Plunger 表面溫度 | |||
| 操控?板 | 7寸觸摸屏 | |||
| 控制器 | PLC可編程控制器,標配支持ModbuSRTU協(xié)議,RS485接口,可選擇其他通信協(xié)議 | |||
| 電源 | 200v~230v 50hz/60hz | |||
| 設備外形尺?mm | 465*600*365 | 500*600*400 | 550*750*550 | |
| 測試件受?調(diào)節(jié) | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 測試架外置氣缸 | |
| CDA要求 | 配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列 | |||
| 通訊 | Madbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet | |||
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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壓縮空?進??體快速溫變測試機,內(nèi)置有?燥器,預先把?體?燥到露點溫度-70度以下,進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓
?恒溫的?體,對?標對象進?控溫(如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱沉板、料梭、腔體、電?元件等),可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫,?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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1、溫度和濕度控制可適用于不同的設定溫度下,亦可以在一個固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機組可以根據(jù)實際情況,配比一定的新風量以滿足暖通新風要求。
3、精密型恒溫恒濕機組使用新、回風溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風量下運行時,送風機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓;也可以根據(jù)末端是否配置有FFU調(diào)整 5、40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質(zhì)要求:不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范》GB50050-95 7、送風管道必須保溫處理,現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度, 有關(guān)可能的詳細信息,請參閱操作手冊
| 產(chǎn)品型號 | LW-0090-BW01 | LWX-0090-BW01 | LW-0100-BW01 | LWX-0100-BW01 | |
| 額定處理風量 | m3/h | 8000~9000 | 9000~10000 | ||
| 可設定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 22~24 | 22~23;45%RH~60%RH | 22~24 | 22~24;45%RH~70%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1%RH | / | ±1%RH |
| 最大制冷量 | kW | 20kW @25℃ | 16kW @26℃ | ||
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 5 | / | 2.3 |
| 新風比 ② | 20% | 20% | / | / | |
| 設備新風溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±2℃;;45%~60%±2%RH | 25℃; 45%~60%±2%RH | ||
| 設備回風溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±0.1;45%RH ±2%RH | / | ||
| 最大機外送風靜壓 | Pa | 300~400 | 0~200 | ||
| 送風口接管直徑 | mm | φ500 | φ500 | ||
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10~40 | / | 10~40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 1~4 | / | 1~4 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導電率75~1250μs/cm *水硬度不高于40°f *無有機化合物 | / | *導電率75~1250μs/cm *水硬度不高于40°f *無有機化合物 |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 18~22 | 18~22 | ||
| 冷卻水接管 | Rc1 | Rc1 | |||
| 電源供應 | V/Hz | 3~380v±10%; 50Hz±5Hz 三相五線制 | |||
| 機組額定輸入功率 | kW | 12.5 | 12.5 | 4 | 4 |
| 機組運行最大電流值 | A | 23 | 23 | 7 | 7 |
| 機組噪音值 | dB(A) | ≤80 | ≤75 | ||
| 機組最大輸入功率 | kWA | 15 | 8 | ||
| 冷媒/充注量 | Kg | R410A/5 | R410A/4 | ||
| 安全保護功能 | 電源過欠壓、逆缺相保護; 電機過熱載保護;壓縮機排氣溫度過高保護、 系統(tǒng)高壓保護、系統(tǒng)低壓保護、溫度模塊故障保護、可調(diào)式超溫保護,風機電機過熱保護等 | ||||
| 機組凈重 | Kg | 750 | 800 | 650 | 680 |
| 機組毛重 | Kg | 800 | 850 | 700 | 750 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | cm | 213*100*200 | 120*120*195 | ||
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 230*115*210 | 135*135*205 | ||

1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實際可控制的范圍。實際可控制的溫度和濕度范圍取決于進氣溫度和濕度以及工藝風量。根據(jù)操作環(huán)境設置工藝風量。
2、對于M01/02系列,當進氣溫度和濕度穩(wěn)定時??刂破魃巷@示的精度值僅適用于出口端的一點;同時是在最大額定風量下運行時。 對于M03系列,在以額定工藝風量(3 m3/min)運行時,開始運行后大約2分鐘內(nèi),由于壓縮機 油回流,溫度會暫時波動。此外,如果目標濕度較高,并且根據(jù)加濕水供應的時間不同,可能無法維持之前提到的精度。在這種情況下,通過調(diào)整與供水相關(guān)的參數(shù),可以減少波動量。
3、在最大額定工藝風量下運行時,送風機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產(chǎn)品插入專用插座以防止電壓下降,三相電源電壓相位不平衡應小于±3 %。
5、在指定范圍內(nèi)最大工作電流下運行時。
6、冷卻水水質(zhì)要求:不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范》GB50050-95;備注 40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數(shù)值是在指定最大加濕水平運行時的。有關(guān)可能的詳細信息,請參閱操作手冊 備注:送風管道必須保溫處理,現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度(最大長度不超過3m)
| 產(chǎn)品型號 | LMW-01BS | LMWX-01BS | LMW-03BT | LMWX-03BT | |
| 額定處理風量 | m3/min | 0.7~1.0 | 2.0~4.0 | ||
| 可設定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 21~26 | 21~26;45%RH~60%RH | 21~26 | 21~26;45%RH~60%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1.0%RH | / | ±1.0%RH |
| 最大制冷量(50/60Hz) | kW | 0.2/0.25 | 0.37/0.45 | 1.3 | 1.3 |
| 再熱能力(50/60Hz) | kW | 0.1/0.13 | 0.4 | 0.5 | 0.7 |
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 0.8 | / | 2.3 |
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10~40 | / | 10~40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 0.3~2 | / | 0.3~2 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導電率125~1250μs/cm *水硬度不高于40°f *無有機化合物 | / | *導電率125~1250μs/cm *水硬度不高于40°f *無有機化合物 |
| 最大機外送風靜壓 | Pa | 120/130 | 120/160 | 110/150 | 110/150 |
| 送風口接管直徑 | mm | φ75 | φ100 | φ100 | φ100 |
| 設備使用環(huán)境溫度 | ℃/ %RH | 20~26;45%RH~60%RH | |||
| 使用環(huán)境溫度精度范圍 | ℃/ %RH | ±1;±5%RH | |||
| 電源供應 | V/Hz | 1~220v±10%; 50/60Hz±5Hz | 3~380v±15%; 50Hz±5Hz | ||
| 機組額定輸入功率 | kW | 0.32/0.34 | 1.2/1.2 | 0.75 | 2.7 |
| 機組運行最大電流值 | A | 1.7/1.82 | 6.4/6.4 | 1.35 | 4.8 |
| 機組噪音值(50/60Hz) | dB(A) | 54/56 | 58/60 | 65 | 66 |
| 機組最大輸入功率 | kWA | 0.34/0.38 | 1.5/1.5 | 1.4 | 4 |
| 冷媒/充注量 | Kg | R134A/0.13 | R407C/0.3 | R410A/0.4 | R410A/0.48 |
| 機組凈重 | Kg | 32 | 69 | 95 | 135 |
| 機組毛重 | Kg | 40 | 85 | 110 | 150 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | cm | 50*41.2*34.6 | 63*39*76.5 | 59*48*107 | 68*52*135 |
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 60*50*40 | 75*50*85 | 70*60*120 | 78*65*140 |
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
loading…
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負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準溫度控制,原理:通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導熱介質(zhì)(?/油)循環(huán),避免泄漏?險,適?于各種類型板卡冷卻。
核?技術(shù)與優(yōu)勢
防泄漏設計
系統(tǒng)運?時管路處于負壓狀態(tài),即使管道破裂也不會泄漏?
溫介質(zhì),安全性?。
?效節(jié)能
全密閉循環(huán),閉式循環(huán),減少熱能損耗。
精準控溫
采?PID算法或PLC控制,實現(xiàn)溫度波動≤±0.3℃,適?于精
密制造場景。
多場景適配
?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質(zhì),控溫范圍從常
溫到80度
| 設備名稱 | 負壓循環(huán)溫控設備 | |
| 設備型號 | ZLFQ-80 | |
| 額定換熱量 | 80kW | |
| 一次側(cè) (介質(zhì)側(cè)) | 工作介質(zhì) | 介質(zhì)側(cè)純水、氟化液、乙二醇水溶液等 |
| 額定流量 | 300L/MIN | |
| 儲液容積 | 120L | |
| 供回液溫度 | 25/35℃ | |
| 溫控精度 | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽氣量 | 130m3/h | |
| 負壓壓頭 | 70KPA | |
| 內(nèi)循環(huán)泵配置 | 1+1冗余 | |
| 接口尺寸 | Rc1 1/4 | |
| 二次側(cè) (冷卻側(cè)) | 冷卻介質(zhì) | PCW |
| 冷卻流量 | 6m3/h | |
| 過濾精度 | 50um | |
| 接口尺寸 | Rc1 | |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器,前饋調(diào)節(jié)+控滯后PID算法 | |
| 通訊協(xié)議 | RS485串口MODBUS RTU協(xié)議/以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |
| 供液泄露率 | 負壓循環(huán)無泄漏 | |
| 安全防護 | 具有自我診斷功能;設備過載保護;低液位保護等 | |
| 其他功能 | 自動泄露檢測、自動排液、自動補液等功能 | |
| 電源 | AC220V/50HZ,8A(max) | |
| 外形尺寸 cm | 130(L)*70(W)*185(H) | |
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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壓縮空氣干燥器
應用于傳感器、半導體制造、 薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸 、噴涂系統(tǒng)、食品行業(yè)、制藥行業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點干燥和清潔的分布式氣源。
額外過濾油分和顆粒物,氣流經(jīng)過過濾等級 0.01 μm的預過濾器,防止干燥劑被塵埃和油(油會極大縮短干燥劑的使用壽命)污染
壓縮空氣干燥器由多組灌裝了干燥劑的濾芯組成。 氣霧狀壓縮空氣交替流經(jīng)多組濾芯,空氣中的水分就會聚集在干燥器的表面。過濾過程達到預先確定的持續(xù)時間后氣流就會切換到其它濾芯,而一部分氣流 (沖放氣流)就會被用來重新發(fā)生第一個濾芯的干燥器。沖放氣流會釋放到大氣中。干燥劑的使用壽命約為 15000 個工作小時。
| 壓縮空氣干燥器 | |||
| 型號 | DR-500 | DR-1000 | DR-2000 |
| 壓力范圍 | 0.65~1.0Mpa | ||
| 露點溫度 | -70℃ | ||
| 處理氣量 | 650L/Min | 1300L/Min | 2500L/Min |
| 成品氣量 | 500L/Min | 1000L/Min | 2000L/Min |
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 |
| 電源功率 | 220V 15W | ||
| 尺寸 cm | 35*22*132 | 35*58*132 | 70*120*132 |
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導體高低溫測試冷水機,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應用
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