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      FLTZ變頻多通道系列Chiller
      

      

      




      

      

      FLTZ變頻多通道系列Chiller
      




      




      




      適用范圍
      



      多通道獨(dú)立控溫，可以具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無(wú)壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。
      

      




      




        全國(guó)服務(wù)熱線 400-100-3163
      

      

      

      

      




      




      

      
 
      

      

      

      

      




      




      

      

      

      

      產(chǎn)品參數(shù)
      




      Product Parameter
      

      

      




      

      雙通道系列? ? ? 所有型號(hào)均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-D-202W
FLTZ-D-203W
FLTZ-D-B003B203W

      

      
通道系數(shù)
CH1
CH2
CH1
CH2
CH1
CH2

      

      
介質(zhì)溫度范圍
?-20~＋90℃
?-20~＋90℃
-20~＋90℃
?-20~＋90℃
?-20~＋90℃
?-20~＋90℃

      

      
控制系統(tǒng)
PLC控制器
PLC控制器
PLC控制器

      

      
控制模式
本體出液口溫控控制模式

      

      
負(fù)載溫度控制模式（通信）

      

      
出口溫度控制精度
±0.1℃

      

      
冷卻能力
1kW@-20℃
1kW@-20℃
2.5kW@-15℃
2.5kW@-15℃
4kW@-15℃
20kW@冷卻水溫度+10℃

      

      
4kW@10℃
4kW@10℃
6kW@10℃
6kW@10℃
10kW@10℃

      

      
加熱能力
1.6kW
1.6kW
5.5kW
5.5kW
2kW
5.5kW

      

      
介質(zhì)類型、電阻率
DI?WATER@10~18MΩ·cm
氟化液
氟化液

      

      
介質(zhì)流量壓力
20LPM@5bar
20LPM@5bar
20LPM@3bar
20LPM@3bar
20LPM@5bar
20LPM@5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
20℃@2.5m3/h@2~4bar
20℃@3.5m3/h@2~4bar
20℃@2.7m3/h@2~4bar
20℃@3.5m3/h@2~4bar

      

      
冷卻水接口
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4

      

      
通道溫度控制
PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨(dú)立控制

      

      
每組流量控制
15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能

      

      
流量顯示精度
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM

      

      
水箱容積
15L
15L
15L
15L
15L
15L

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過(guò)電流、過(guò)欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)

      

      
安全聯(lián)鎖裝置
EMO+INTERLOCK

      

      
上鎖掛牌裝置
LOTO

      

      
漏液檢測(cè)裝置
設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
220?VAC?±?10%，三相(可定制)
380?VAC?±?10%，三相(可定制)
220?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率
11kW(49A)
18kW（48A)
14.5kW（55A)

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035
冷軋板噴塑RAL7035
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
外形尺寸cm
60*85*140
75*110*170
46*90*187

      

      
非標(biāo)定制
配離子交換樹脂過(guò)濾器
      
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能
      
可定制雙通道液位平衡      		
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能
      
可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證
      
可定制雙通道液位平衡      		
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能
      
可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證
      
可定制雙通道液位平衡      		

      
      

      

       
      

      三通道系列? ? ?所有型號(hào)均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-T-B203B205A1W
FLTZ-T-B440A2A2W
FLTZ-T-B210A1C1W

      

      
通道系數(shù)
CH1
CH2
CH3
CH1
CH2
CH3
CH1
CH2
CH3

      

      
介質(zhì)溫度范圍
?-10~＋60℃
30~＋80℃
?-10~＋80℃
?-40℃~+50℃
30℃~+120℃
30℃~+50℃
?-25℃~+90℃
30℃~+90℃
25℃~+160℃

      

      
控制系統(tǒng)
PLC控制器
PLC控制器
PLC控制器

      

      
控制模式
本體出液口溫控控制模式

      

      
負(fù)載溫度控制模式（通信）

      

      
出口溫度控制精度
±0.1℃

      

      
冷卻能力
4kW@-10℃
6kW@冷卻水溫度+10℃
3kW@-10℃
20kW@-30℃
20kW@50℃
25kW@35℃
10kW@-10℃
10kW@30℃
4kW@100℃

      

      
16kW@20℃
10kW@20℃

      

      
加熱能力
5.5kW
5.5kW
4kW
5.5kW
15kW
5.5kW
2kW
7.5kW
7.5kW

      

      
介質(zhì)類型、電阻率
氟化液
氟化液
氟化液

      

      
介質(zhì)流量壓力
17LPM@7bar
17LPM@7bar
17LPM@7bar
30LPM@11.5bar
30LPM@11.5bar
23LPM@10bar
30LPM@6.5bar
30LPM@6.5bar
30LPM@6.5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
20℃@2.7m3/h@2~4bar
20℃@2.5m3/h@2~4bar
20℃@1.6m3/h@2~4bar
20℃@20m3/h@2~4bar
20℃@7m3/h@2~4bar
20℃@5m3/h@2~4bar

      

      
冷卻水接口
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc1 1/4
Rc1 1/4
Rc1 1/4
Rc1
Rc1
Rc1

      

      
通道溫度控制
PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨(dú)立控制

      

      
每組流量控制
15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能

      

      
流量顯示精度
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM
±0.5?LPM

      

      
水箱容積
40L
40L
40L
25L
25L
25L
25L
25L
25L

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏
10寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過(guò)電流、過(guò)欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)

      

      
安全聯(lián)鎖裝置
EMO+INTERLOCK

      

      
上鎖掛牌裝置
LOTO

      

      
漏液檢測(cè)裝置
設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無(wú)腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
220?VAC?±?10%，三相(可定制)
380?VAC?±?10%，三相(可定制)
380?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率
31kW（113A)
65kW（136A)
34kW（135A)

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035
冷軋板噴塑RAL7035
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
外形尺寸cm
70*100*185
115*150*210
105*135*195

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足semi2/semiF47認(rèn)證

      
      

      

      

      

      

      

      




      

      

      

      

      行業(yè)應(yīng)用
      




      APPLICATION
      

      

      




      

      

      

      

      

      

      




      




      半導(dǎo)體FAB工藝過(guò)程控溫解決方案
      




      

      

      半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過(guò)程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
      




      精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
      

      

      





      

      

      

      

      




      

      

      

      

      

      




      




      半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
      




      

      

      半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。