產(chǎn)品中心
Product Center

FLS常溫高精度系列

產(chǎn)品簡介

應用：
原理：CHILLER 高精度系列設備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機、涂膠顯影設備等領域制冷加熱控溫。
核心技術與優(yōu)勢：
1.高精度控溫：
采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。
2.多場景適配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。

FLTZH高溫系列

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應用：
CHILLER高溫系列主要應用與薄膜沉積領域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫熱量的工藝制程中，滿足半導體高溫測試需求。
核心技術與優(yōu)勢：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達300℃。
2、控溫精準：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應調(diào)節(jié)、軟啟動等技術，實現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
4、氟化液損耗?。禾厥獾拿芊夂脱h(huán)設計，降低高溫下導致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對工藝制程不會產(chǎn)生任何污染。

FLTZ-U超純水溫控系列

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Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實現(xiàn)對目標設備的精準、穩(wěn)定溫度控制。

FLTRZ變頻環(huán)保系列

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高效節(jié)能:變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)用戶冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。

快速制冷:變頻機組采用先進的變頻技術，精確控制壓縮和風機運行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

超低噪音:變頻機組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機，大大降低回旋不平衡度，使機組的振動非常小，約為常規(guī)壓縮。機的1/2，結合多重降噪措施，極度安靜。

環(huán)境適應性高:變頻機組采用低頻啟動，啟動電流小，對電網(wǎng)沖擊小。對電壓的適應性較強，可寬電壓范圍下啟動。

壽命長:變頻機組不會頻繁啟停，有效降低機組啟停時的損耗，延長機組壽命。

氟化液回收裝置

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氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風冷設計。采用品牌的壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進行換熱，對氟化液進行冷凝后回收。

FLTZ變頻多通道系列Chiller

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多通道獨立控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等，采用獨立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設備尺寸，減少操作步驟。

單通道系列 Single Channel Chiller

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FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。

加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

面板系列Panel Chiller

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面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動補液與?質(zhì)管理，缺液時?動補液；符合三通道?藝設計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與精準控制。

帕爾貼Chiller

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冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制；

基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；

對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝；

快速和準確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求；

低能耗，空間占地小，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度。

負壓型控溫機組

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負壓型控溫設備是通過制造循環(huán)管道內(nèi)的負壓環(huán)境，實現(xiàn)管道內(nèi)的流體壓力在低于外界大氣壓的條件下循環(huán)，并且同時實現(xiàn)精準控溫功能。
原理：通過負壓發(fā)生器驅(qū)動導熱介質(zhì)（水/油等）循環(huán)，避免泄露風險，適用于各種類型的板卡冷卻。