氧化工藝：
在氧化過程中，Chiller冷水機用于控制氧化爐的溫度，以確保硅片表面形成均勻的氧化層。
光刻工藝：
Chiller冷水機用于控制光刻機的溫度，防止光刻膠因溫度變化而影響其性能，如黏度和揮發(fā)速率。
擴散工藝：
在擴散爐中，Chiller用于維持恒定的溫度，以控制摻雜劑在硅片中的擴散速率和深度。
化學(xué)氣相沉積（CVD）：
在CVD過程中，Chiller用于控制反應(yīng)氣體的溫度，以確保薄膜的均勻生長和質(zhì)量。
物理氣相沉積（PVD）：
在PVD過程中，Chiller用于維持真空室內(nèi)的溫度，以控制薄膜沉積過程。
離子注入：
在離子注入過程中，Chiller用于控制注入機的溫度，以確保離子束的穩(wěn)定性和注入劑量的準(zhǔn)確性。
清洗和預(yù)處理：
在清洗和預(yù)處理過程中，Chiller用于控制清洗液的溫度，以提高清洗效率和去除顆粒的能力。
退火和快速熱處理（RTP）：
在退火或RTP過程中，Chiller用于快速冷卻硅片，以減少熱應(yīng)力并恢復(fù)晶格結(jié)構(gòu)。
電鍍：
在電鍍過程中，Chiller用于控制電鍍液的溫度，以確保金屬沉積的均勻性和質(zhì)量。
晶圓檢測和測試：
在晶圓檢測和測試過程中，Chiller用于維持測試環(huán)境的溫度穩(wěn)定性，以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
封裝過程：
在芯片封裝過程中，Chiller用于控制固化和退火等步驟的溫度，以確保封裝材料的正確固化和性能。
冷卻和溫度恢復(fù)：
在高溫處理后，Chiller用于快速冷卻硅片，以減少熱應(yīng)力并恢復(fù)至室溫。
通過在這些關(guān)鍵工藝中使用半導(dǎo)體Chiller，半導(dǎo)體制造商可以實現(xiàn)更準(zhǔn)確的溫度控制，提高產(chǎn)品質(zhì)量和良率，降低生產(chǎn)成本，并確保產(chǎn)品的可靠性。Chiller在半導(dǎo)體制造中的多方面應(yīng)用體現(xiàn)了其對于維持生產(chǎn)過程穩(wěn)定性和優(yōu)化產(chǎn)品性能的重要性。
FLS常溫高精度系列
適用范圍 應(yīng)用：原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。核心技術(shù)與優(yōu)勢：1.高精度控溫：采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。2.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 …
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FLTZ-U超純水溫控系列
適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實現(xiàn)制冷； 同時，載冷劑（介…
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FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍 高效節(jié)能:變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)用戶冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。 快速制冷:變頻機組采用先進的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機運行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。 超低噪音:變頻機組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機，大大降低回旋不平衡度，使機組的振動非…
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AET高速光模塊熱流儀
適用范圍 運用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試冷熱源。非接觸測試:避免機械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險:沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機進行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品…
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FLTZ變頻多通道系列Chiller
FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
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LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進…
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AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…
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AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標(biāo)對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
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Dryer氣體干燥器
適用范圍 應(yīng)用于傳感器、半導(dǎo)體制造、 薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸 、噴涂系統(tǒng)、食品行業(yè)、制藥行業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點干燥和清潔的分布式氣源。額外過濾油分和顆粒物，氣流經(jīng)過過濾等級 0.01 μm的預(yù)過濾器，防止干燥劑被塵埃和油（油會極大縮短干燥劑的使用壽命）污染壓縮空氣干燥器由多組灌裝了干燥劑的濾芯組成。 氣霧狀壓縮空氣交替流經(jīng)多組濾芯，…
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面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
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