在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫度控制的精度和穩(wěn)定性對芯片性能以及生產(chǎn)良率有著直接影響。然而，傳統(tǒng)溫控設(shè)備存在能耗較高、精度相對不足以及穩(wěn)定性欠佳等問題，這些問題已然成為制約半導(dǎo)體材料有效生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。

　　一、半導(dǎo)體行業(yè)行業(yè)挑戰(zhàn)

　　一方面，控溫精度不足，在低溫工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象，可能導(dǎo)致光刻膠形變或研磨液性能波動(dòng)，進(jìn)而影響工藝一致性；

　　另一方面，效率低下，能耗較高，且由于控溫精度不足，可能導(dǎo)致原料浪費(fèi)與生產(chǎn)成本增加。這些問題已然成為制約半導(dǎo)體材料有效生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。

　　冠亞恒溫聚焦半導(dǎo)體行業(yè)的控溫需求，憑借其高精度的溫控解決方案以及創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢，幫助企業(yè)達(dá)成更有效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標(biāo)。

　　二、半導(dǎo)體行業(yè)控溫解決方案

　　半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller適用于集成電路、半導(dǎo)體顯示等行業(yè)，溫控設(shè)備可在工藝制程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔室溫度，是一種用于半導(dǎo)體制造過程中對設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)生的熱量，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的溫度控制，確保半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

　　三、半導(dǎo)體溫控Chiller核心產(chǎn)品

　　FLTZ變頻單通道Chiller

　　?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

　　?溫度范圍：-100℃~+90℃，控溫精度±0.05℃

　　?技術(shù)亮點(diǎn)：變頻泵可調(diào)整循環(huán)液壓?、流量；智能變頻jie能控制，降低使用能耗；?持?標(biāo)定制，?持PC遠(yuǎn)程控制

　　FLTZ系列雙通道Chiller

　　?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

　　?控溫范圍：-45℃~+90℃，控溫精度：±0.1℃

　　?技術(shù)亮點(diǎn)：系統(tǒng)支持雙通道獨(dú)立控制溫度、流量壓力；采用變頻控溫技術(shù)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品

　　FLTZ變頻三通道Chiller

　　?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

　　?控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃

　　?技術(shù)亮點(diǎn)：三通道整合，支持每個(gè)通道獨(dú)立控溫范圍、導(dǎo)熱介質(zhì)流量；深化性能開發(fā)，匹配刻蝕工藝需求

　　面板Chiller

　　?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等

　　?控溫范圍：+15~+30℃，控溫精度±0.05℃

　　?技術(shù)亮點(diǎn)：高揚(yáng)程設(shè)計(jì)?持?流量?負(fù)載，確保嚴(yán)苛?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；智能變頻jie能控制，減少?效能耗；符合三通道?藝設(shè)計(jì)要求，確保信號/流體的獨(dú)?傳輸與準(zhǔn)確控制

　　ETCU換熱控溫單元

　　?介紹應(yīng)用：應(yīng)用于PVD、CVD、PECVD、ALD?藝等

　　?冷卻?溫度范圍：+5℃~+90℃，控溫精度±0.05℃

　　?技術(shù)亮點(diǎn)：系統(tǒng)?壓縮機(jī)，通過換熱降溫；?持?標(biāo)定制，?持PC遠(yuǎn)程控制

　　四、為什么選擇冠亞恒溫？

　　1、深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域：服務(wù)半導(dǎo)體后道生產(chǎn)流程工藝中，覆蓋半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫、半導(dǎo)體封測工藝過程控溫。

2、定制化服務(wù)能力：依托模塊化平臺，提供標(biāo)準(zhǔn)化與個(gè)性化結(jié)合的解決方案。

　　五、冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller溫控系統(tǒng)技術(shù)優(yōu)勢

　　1、變頻技術(shù)與jie能：采用變頻技術(shù)，結(jié)合精心設(shè)計(jì)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和自主開發(fā)的控制算法，能夠準(zhǔn)確調(diào)節(jié)壓縮機(jī)的輸出頻率。在滿足制程需求的前提下，降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營成本。

　　2、全密閉式系統(tǒng)：采用全密閉設(shè)計(jì)，有效杜絕油霧和異味產(chǎn)生，延長導(dǎo)熱液體的使用壽命。

　　3、快速加熱與制冷：參與循環(huán)的導(dǎo)熱液體量少，使得加熱和制冷速度大幅提升。響應(yīng)速度快，能夠及時(shí)適應(yīng)工藝過程中的溫度調(diào)整需求。

　　4、模塊化設(shè)計(jì)：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，安裝和移動(dòng)都十分便捷。這種設(shè)計(jì)使得設(shè)備能夠靈活適應(yīng)不同的生產(chǎn)場地和工藝布局，為企業(yè)節(jié)省空間和安裝成本。

　　5、智能監(jiān)控與診斷：可同時(shí)監(jiān)控、設(shè)定和控制流量、泵壓、溫度等參數(shù)，實(shí)時(shí)顯示運(yùn)行狀態(tài)。設(shè)備具備故障自動(dòng)診斷功能，并擁有多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能，能夠提前預(yù)警潛在問題，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。

　　6、控制重復(fù)性與穩(wěn)定性：基于動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果的一致性，有效提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。

　　7、自適應(yīng)PID控制：采用自適應(yīng)PID算法，能夠自動(dòng)適應(yīng)不同的環(huán)境和負(fù)載條件，無需人工調(diào)整參數(shù)，這大大降低了操作難度和維護(hù)成本，提高了設(shè)備的智能化水平。

溫度控制是半導(dǎo)體制造過程中一項(xiàng)重要的工藝環(huán)節(jié)。冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller憑借技術(shù)創(chuàng)新作為發(fā)展動(dòng)力，通過提供準(zhǔn)確、穩(wěn)定且有效的溫控系統(tǒng)，協(xié)助企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低資源消耗，推動(dòng)企業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的制造生產(chǎn)。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。 2.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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