在半導(dǎo)體制造工藝中，氣體控溫是保障制程穩(wěn)定性的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，不同工藝環(huán)節(jié)對氣源溫度有著明確要求，冠亞研發(fā)的CHILLER氣體制冷系列，專為半導(dǎo)體工藝氣體控溫設(shè)計，依托成熟的制冷循環(huán)與換熱技術(shù)，實現(xiàn)對工藝氣體的jing準(zhǔn)降溫與恒溫控制，以下詳細(xì)介紹其核心運行原理。

冠亞CHILLER氣體制冷系列整體運行基于蒸汽壓縮制冷循環(huán)與氣體間接換熱原理，主要由制冷系統(tǒng)、氣體換熱系統(tǒng)、智能控制系統(tǒng)三大核心模塊組成，各模塊協(xié)同運作，確保輸出氣源溫度穩(wěn)定、流量均勻，適配半導(dǎo)體工藝的嚴(yán)苛要求。

制冷系統(tǒng)是控溫核心，采用蒸汽壓縮式制冷結(jié)構(gòu)，主要包含壓縮機、冷凝器、節(jié)流部件、蒸發(fā)器四大關(guān)鍵部件。運行時，壓縮機將氣態(tài)制冷劑壓縮為高溫高壓狀態(tài)，輸送至冷凝器，通過風(fēng)冷或水冷方式將制冷劑中的熱量散發(fā)至外界，使制冷劑冷凝為液態(tài)；液態(tài)制冷劑經(jīng)節(jié)流部件降壓降溫，轉(zhuǎn)變?yōu)榈蜏氐蛪旱囊簯B(tài)介質(zhì)，進(jìn)入蒸發(fā)器內(nèi)部流道。

氣體換熱環(huán)節(jié)采用間接換熱模式，半導(dǎo)體工藝所需的干燥壓縮空氣、氮氣等無腐蝕性氣體，經(jīng)前置過濾裝置去除雜質(zhì)后，進(jìn)入蒸發(fā)器的氣體腔體，與流道內(nèi)的低溫制冷劑完成熱量交換。待處理氣體的熱量被制冷劑吸收，溫度逐步降至工藝設(shè)定區(qū)間，換熱完成后的低溫氣體，經(jīng)穩(wěn)壓裝置調(diào)節(jié)流量與壓力后，輸送至半導(dǎo)體工藝工位。

智能控制系統(tǒng)采用PLC控制器，搭載PID調(diào)控算法，可實時采集出氣溫度、氣體流量、系統(tǒng)壓力等運行參數(shù)，根據(jù)工藝設(shè)定溫度自動調(diào)節(jié)壓縮機運行頻率、制冷劑流通量，確保氣源溫度波動控制在合理范圍。同時，系統(tǒng)配備可視化操作界面，可實時顯示運行數(shù)據(jù)、溫度曲線，支持參數(shù)設(shè)定與數(shù)據(jù)留存，便于工藝追溯與設(shè)備運維。

此外，設(shè)備內(nèi)置多重防護(hù)機制，包含壓力監(jiān)控、過載保護(hù)、化霜控制等功能，可規(guī)避管路壓力異常、結(jié)霜堵塞等問題，保障設(shè)備長時間連續(xù)運行，適配半導(dǎo)體產(chǎn)線24小時不間斷生產(chǎn)的需求，為半導(dǎo)體工藝氣體控溫提供穩(wěn)定可靠的技術(shù)支撐。

AET高速光模塊熱流儀

適用范圍 運用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩础?非接觸測試:避免機械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險:沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號) 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)…

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精密恒溫恒濕機組

冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機組，超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機組采??品質(zhì)潔凈型?機、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染

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KRY系列冷熱控溫控流量系統(tǒng)

適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上，部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線，并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。（可擴展到150度）進(jìn)行耐受性測試時，通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter KRY -20℃～+100℃

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KRY系列多通道水冷機Chiller

適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上，部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線，并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。（可擴展到150度）進(jìn)行耐受性測試時，通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 一拖六系列-20℃~+100℃（溫度六組一致，壓力/流量可獨立…

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KRY變頻系列新能源冷水機

適用范圍 采?變頻渦旋壓縮機，根據(jù)實際需求?動調(diào)整運轉(zhuǎn)速度，提供所需的制冷能?，與傳統(tǒng)的定頻壓縮機相?，顯著降低能源消耗，提?能效性能。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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電機測試用油冷卻系統(tǒng)

適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上，部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線，并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。（可擴展到150度）進(jìn)行耐受性測試時，通常會循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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KRY直冷直熱機組

適用范圍 設(shè)備可以滿?直冷/直熱?于電池包及整?的試驗及測試。主要?于制冷量和制熱量的測試，采?變頻壓縮機，輸出可調(diào)；采?變頻?機，轉(zhuǎn)速散熱量可調(diào)；配合?精度溫度、壓?、流量傳感器以及?帶軟件，可實時計算換熱能?，?動回收加注制冷劑等功能?？蓾M?不同??電池包。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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LQ系列氣體冷卻裝置

適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)

適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?；?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)定好溫度即…

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AES系列熱流儀

適用范圍 射流式?低溫沖擊測試機給芯?、模塊、集成電路板、電?元器件等提供準(zhǔn)確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設(shè)備。 產(chǎn)品特點 Product Features ?? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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