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CHILLER氣體制冷系列在半導(dǎo)體測試中的應(yīng)用

行業(yè)新聞 850

冠亞研發(fā)的CHILLER氣體制冷系列,涵蓋LQ、AI、AES、AET四大品類,以干燥壓縮空氣、氮?dú)?、氬氣等無腐蝕性氣體為溫控介質(zhì),依托復(fù)疊制冷與gao效換熱技術(shù),實(shí)現(xiàn)-105℃至+125℃的寬溫域控溫,可jing準(zhǔn)適配半導(dǎo)體測試全流程的溫控需求,為半導(dǎo)體測試提供穩(wěn)定、可靠的氣體溫控支持,適配探針臺(tái)、測試腔體、分選臺(tái)等多種測試設(shè)備。

CHILLER氣體制冷系列在半導(dǎo)體測試中的應(yīng)用(images 1)

在半導(dǎo)體芯片電性能測試中,該系列設(shè)備可提供jing準(zhǔn)低溫氣體,控制測試環(huán)境溫度,避免溫度波動(dòng)影響芯片電學(xué)參數(shù),保障測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體芯片的電學(xué)特性對(duì)溫度min感,不同測試環(huán)節(jié)需不同溫度區(qū)間的氣體支持,冠亞CHILLER氣體制冷系列可根據(jù)測試需求,靈活調(diào)節(jié)氣體溫度,適配-40℃至-105℃的不同低溫測試場景,覆蓋常規(guī)測試與ji端環(huán)境測試需求。

在半導(dǎo)體器件老化測試中,該系列設(shè)備可模擬芯片在ji端溫度環(huán)境下的運(yùn)行狀態(tài),為老化測試腔體提供穩(wěn)定低溫氣流,加速芯片老化過程,助力篩選早期失效器件,為芯片可靠性評(píng)估提供數(shù)據(jù)支撐。其全密閉氣路設(shè)計(jì)可防止外界雜質(zhì)污染氣體介質(zhì),保障測試環(huán)境的潔凈度,避免雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體器件造成損傷,適配半導(dǎo)體器件的高精度測試要求。

在半導(dǎo)體晶圓測試環(huán)節(jié),冠亞CHILLER氣體制冷系列可對(duì)晶圓測試平臺(tái)進(jìn)行jing準(zhǔn)溫控,維持晶圓測試過程中的溫度穩(wěn)定,確保光刻、刻蝕等相關(guān)測試環(huán)節(jié)的工藝一致性。設(shè)備采用二次過冷技術(shù),制冷響應(yīng)速度快,可在短時(shí)間內(nèi)將氣體降至目標(biāo)溫度,滿足測試過程中快速溫變的需求,同時(shí)控溫精度可達(dá)±0.1℃,有效減少溫度偏差帶來的測試誤差。

CHILLER氣體制冷系列在半導(dǎo)體測試中的應(yīng)用(images 2)

此外,該系列設(shè)備適配半導(dǎo)體測試的連續(xù)運(yùn)行需求,支持24小時(shí)不間斷工作,氣體換熱系統(tǒng)耐壓可達(dá)20bar,適配高壓氣體測試工況。不同品類可針對(duì)性適配不同測試場景,LQ系列適配常規(guī)測試溫控,AI系列適配高精度控溫測試,AES系列適配快速溫變測試,AET系列適配定制化測試需求,quan方位覆蓋半導(dǎo)體測試的多樣化溫控需求,為半導(dǎo)體測試工作的有序開展提供保障。

AET高速光模塊熱流儀

AET高速光模塊熱流儀

適用范圍 運(yùn)用于半導(dǎo)體測試平臺(tái)的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩础?非接觸測試:避免機(jī)械接觸對(duì)模塊的壓力,更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動(dòng)空氣包裹模塊,溫度梯度小;無磨損風(fēng)險(xiǎn):沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5,方便移動(dòng),插電即用;可與測試機(jī)進(jìn)行高度交互,可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號(hào)) 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)…

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精密恒溫恒濕機(jī)組

精密恒溫恒濕機(jī)組

冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組,超精密空調(diào)是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備,提供兩款設(shè)備型號(hào),常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝,避免?次環(huán)境污染

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KRY系列冷熱控溫控流量系統(tǒng)

KRY系列冷熱控溫控流量系統(tǒng)

適用范圍 測試的物件連接到一個(gè)測試平臺(tái)適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個(gè)特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴(kuò)展到150度)進(jìn)行耐受性測試時(shí),通常會(huì)循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter KRY -20℃~+100℃

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KRY系列多通道水冷機(jī)Chiller

KRY系列多通道水冷機(jī)Chiller

適用范圍 測試的物件連接到一個(gè)測試平臺(tái)適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個(gè)特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴(kuò)展到150度)進(jìn)行耐受性測試時(shí),通常會(huì)循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 一拖六系列-20℃~+100℃(溫度六組一致,壓力/流量可獨(dú)立…

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KRY變頻系列新能源冷水機(jī)

KRY變頻系列新能源冷水機(jī)

適用范圍 采?變頻渦旋壓縮機(jī),根據(jù)實(shí)際需求?動(dòng)調(diào)整運(yùn)轉(zhuǎn)速度,提供所需的制冷能?,與傳統(tǒng)的定頻壓縮機(jī)相?,顯著降低能源消耗,提?能效性能。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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電機(jī)測試用油冷卻系統(tǒng)

電機(jī)測試用油冷卻系統(tǒng)

適用范圍 測試的物件連接到一個(gè)測試平臺(tái)適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個(gè)特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴(kuò)展到150度)進(jìn)行耐受性測試時(shí),通常會(huì)循環(huán)進(jìn)行。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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KRY直冷直熱機(jī)組

KRY直冷直熱機(jī)組

適用范圍 設(shè)備可以滿?直冷/直熱?于電池包及整?的試驗(yàn)及測試。主要?于制冷量和制熱量的測試,采?變頻壓縮機(jī),輸出可調(diào);采?變頻?機(jī),轉(zhuǎn)速散熱量可調(diào);配合?精度溫度、壓?、流量傳感器以及?帶軟件,可實(shí)時(shí)計(jì)算換熱能?,?動(dòng)回收加注制冷劑等功能??蓾M?不同??電池包。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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LQ系列氣體冷卻裝置

LQ系列氣體冷卻裝置

適用范圍 應(yīng)?于將?體(?腐蝕)降溫使?:如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部,出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度,供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)

AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)

適用范圍 運(yùn)?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?;?dú)?的制冷循環(huán)?機(jī)組;可連續(xù)?時(shí)間?作,?動(dòng)除霜,除霜過程不影響庫溫; 模塊化設(shè)計(jì),備?機(jī)替換容易(只要?臺(tái)備?機(jī)組即可);解決頻繁開關(guān)?,蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題;蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單(根據(jù)提供的圖紙,像搭積??般拼接好箱體,連接好電和?,設(shè)定好溫度即…

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AES系列熱流儀

AES系列熱流儀

適用范圍 射流式?低溫沖擊測試機(jī)給芯?、模塊、集成電路板、電?元器件等提供準(zhǔn)確且快速的環(huán)境溫度。是對(duì)產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評(píng)估的儀器設(shè)備。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ?? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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