冠亞恒溫小編為大家介紹 FLTZ 單通道溫控設(shè)備在半導(dǎo)體光刻工藝中的配套應(yīng)用。光刻工藝是半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié)，過(guò)程中對(duì)設(shè)備溫度的穩(wěn)定性、均勻性有著明確要求，溫度波動(dòng)會(huì)直接影響光刻膠的曝光效果，進(jìn)而影響芯片關(guān)鍵尺寸。FLTZ 系列制冷循環(huán)器以單通道設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)，通過(guò)閉環(huán)循環(huán)實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻設(shè)備的jing準(zhǔn)溫控，適配光刻工藝的溫控需求。

FLTZ 系列設(shè)備采用單級(jí)蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)制冷與加熱功能，同時(shí)為用戶(hù)提供溫度穩(wěn)定的冷卻介質(zhì)。設(shè)備支持循環(huán)液出口溫度控制與工件負(fù)載溫度控制（選配），出口控溫精度穩(wěn)定在 ±0.1℃，部分型號(hào)可定制 ±0.01℃控溫精度，能夠滿(mǎn)足光刻工藝對(duì)溫度穩(wěn)定性的要求。工藝工程溫度控制可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合，控制工件目標(biāo)溫度，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)控溫，減少溫度偏差對(duì)光刻工藝的影響。

在光刻設(shè)備配套中，F(xiàn)LTZ 系列設(shè)備可為光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)、晶圓臺(tái)提供穩(wěn)定的冷卻介質(zhì)，控制設(shè)備運(yùn)行溫度，避免溫度過(guò)高或波動(dòng)導(dǎo)致的設(shè)備性能偏差。設(shè)備支持氟化液、乙二醇水溶液、DI 水等多種介質(zhì)，其中去離子水可滿(mǎn)足微電子領(lǐng)域?qū)橘|(zhì)低電導(dǎo)率的需求，適配光刻工藝對(duì)介質(zhì)潔凈度的要求。介質(zhì)流量壓力可根據(jù)型號(hào)調(diào)整，流量范圍 15-30LPM，壓力 0.3-0.5MPa，可匹配光刻設(shè)備的管路接口與流量需求。

設(shè)備的安全防護(hù)配置適配半導(dǎo)體車(chē)間運(yùn)行規(guī)范，具備自我診斷功能、相序斷相保護(hù)器、電源過(guò)電流、欠欠壓保護(hù)、漏液報(bào)jing、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低位保護(hù)等，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，異常時(shí)自動(dòng)報(bào)jing并停機(jī)，保障設(shè)備與光刻設(shè)備的安全運(yùn)行。通訊方面，支持 MODBUS RTU/TCP 協(xié)議或 ETHERCAT、LONWORKS 等，可接入車(chē)間自動(dòng)化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)調(diào)整，適配半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)的自動(dòng)化運(yùn)行需求。

FLTZ 單通道溫控設(shè)備以穩(wěn)定的控溫性能、多介質(zhì)適配能力，為半導(dǎo)體光刻工藝提供了可靠的溫控支持，可根據(jù)不同光刻設(shè)備的溫度需求、流量需求選擇適配型號(hào)，保障光刻工藝的穩(wěn)定運(yùn)行。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場(chǎng)景。 2.多場(chǎng)景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features …

詳細(xì)信息

FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿(mǎn)足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)…

詳細(xì)信息

FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過(guò)兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過(guò)壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過(guò)板換換熱器將冷量持續(xù)…

詳細(xì)信息

FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢(shì)的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

詳細(xì)信息

氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計(jì)。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶(hù)端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對(duì)氟化液進(jìn)行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報(bào)警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時(shí)，…

詳細(xì)信息

FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹(shù)算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

詳細(xì)信息

單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹(shù)算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

詳細(xì)信息

面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)?溫。

詳細(xì)信息

帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

詳細(xì)信息

負(fù)壓型控溫機(jī)組

負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過(guò)負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過(guò)負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險(xiǎn)，適?于各種類(lèi)型板卡冷卻。

詳細(xì)信息