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接觸式高低溫測試儀的性能說明有哪些?

行業(yè)新聞 00

升降溫速率是接觸式芯片冷熱測試設(shè)備核心性能指標(biāo),KSD-B、KSD-710、KSDR 全系列機型zui高支持 75℃/min 線性溫變速率,可滿足芯片短節(jié)拍、快速溫度沖擊類驗證需求。本文解讀 75℃/min 速率對應(yīng)的硬件配置、負載適配與工藝使用規(guī)范。

接觸式高低溫測試儀的性能說明有哪些?(images 1)

一、確認控溫對象

控溫對象重點參考方向
芯片快速沖擊驗證樣品全程高速升降溫、無明顯溫度過沖
批量可靠性循環(huán)測試工裝重復(fù)速率一致性、連續(xù)節(jié)拍穩(wěn)定
半導(dǎo)體失效分析試樣快速到達溫區(qū)、縮短測試時長
封裝 IC 短期溫變測試自定義分段速率、階梯控溫
小型晶圓載片小負載高速溫變、均勻?qū)?/td>

二、確認應(yīng)用工藝流程

高速溫變工藝主要分為兩類:量產(chǎn)批量循環(huán)測試,設(shè)備需要長時間穩(wěn)定維持高升降溫速率;實驗室失效分析,單次快速升降至溫度后保溫觀測。負載大小直接影響實際可達速率,大負載工況會小幅降低實際溫變速度,選型時需核算樣品整體熱容量。

三、核對核心技術(shù)參數(shù)

  1. 設(shè)備標(biāo)稱zui大升降溫速率:75℃/min;
  2. 速率可調(diào)區(qū)間:可自定義低至常規(guī)勻速、高至 75℃/min;
  3. 高低溫端制冷、加熱功率,決定高速速率支撐能力;
  4. 溫度過沖yizhi算法,高速升降階段偏差控制;
  5. 不同負載下速率衰減參考指標(biāo)。

四、匹配對應(yīng)機型

機型型號zui大升降溫速率適配負載場景
KSD-705-A50℃/min常規(guī)勻速測試、中小負載樣品
KSD-705-B75℃/min中小尺寸芯片高速循環(huán)工況
KSD-710/KSDR-71075℃/min大載臺、高負載批量測試
KSDR-705-B75℃/minhuan 保冷媒高速溫變驗證場景

五、性能使用注意事項

  1. 75℃/min 為空載標(biāo)準(zhǔn)速率,大負載樣品實際速率會小幅下降,選型預(yù)留功率余量;
  2. 高速升降溫工藝需開啟防過沖程序,避免樣品溫度超差;
  3. 長時間連續(xù) 75℃/min 高速循環(huán),定期檢查冷熱切換閥組狀態(tài);
  4. 可分段設(shè)置升降溫速率,無需全程保持zui高速率運行。
接觸式高低溫測試儀的性能說明有哪些?(images 2)

六、常見問題 FAQ

  1. 所有 KSD 機型都能達到 75℃/min 升降溫嗎? KSD-705-A zui高速率為 50℃/min,其余 B、710 型號可達 75℃/min。
  2. 高速升降溫會造成芯片樣品溫度過沖嗎? 設(shè)備內(nèi)置控溫算法,可將過沖量控制在工藝允許范圍。
  3. 能否設(shè)置低于 75℃/min 的自定義勻速? 操作面板支持 0~75℃/min 區(qū)間內(nèi)任意速率設(shè)定。
  4. huan 保 KSDR 系列高速溫變性能和 KSD 常規(guī)款有無差距? 同等規(guī)格下載,二者升降溫性能標(biāo)準(zhǔn)保持一致。

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