半導(dǎo)體制程對(duì)環(huán)境潔凈度與溫控jing度要求嚴(yán)苛，超純水溫控設(shè)備作為潔凈制程的核心溫控裝置，以超純水為介質(zhì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)制程設(shè)備的jing準(zhǔn)控溫，同時(shí)保障介質(zhì)潔凈度，適配晶圓制造、芯片加工等環(huán)節(jié)的溫控需求。

設(shè)備溫度范圍為 + 15℃至 + 40℃，控溫jing度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，滿足半導(dǎo)體制程對(duì)溫度穩(wěn)定性的要求，減少溫度波動(dòng)對(duì)芯片性能的影響。冷卻能力與加熱能力可根據(jù)制程需求選擇，適配不同制程設(shè)備的冷熱負(fù)荷，保障控溫效果穩(wěn)定。

介質(zhì)采用超純水，電導(dǎo)率控制在 10-18MΩ?cm，低電導(dǎo)率特性可防止電流泄漏，避免對(duì)半導(dǎo)體晶圓、芯片等jing密元件造成電化學(xué)干擾，同時(shí)內(nèi)置過(guò)濾器可防止水垢生成，降低游離離子污染，保障介質(zhì)潔凈度，適配半導(dǎo)體潔凈制程的要求。

循環(huán)方式分為沖洗型與循環(huán)型，可根據(jù)制程需求選擇。沖洗型適用于單工位制程，直接將處理后的超純水輸送至目標(biāo)設(shè)備，換熱后排出；循環(huán)型則形成閉環(huán)循環(huán)，減少介質(zhì)損耗，適配多工位或連續(xù)制程場(chǎng)景。設(shè)備支持 1-loop 與 2-loop 獨(dú)立通道設(shè)計(jì)，可同時(shí)為不同制程設(shè)備提供獨(dú)立控溫，互不干擾，提升設(shè)備利用率。

控制方面采用智能算法，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)，溫度跟隨性良好，可根據(jù)制程負(fù)載變化自動(dòng)調(diào)節(jié)制冷與加熱功率，保障溫度穩(wěn)定。設(shè)備配備完善的安全防護(hù)功能，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)行狀態(tài)，異常時(shí)自動(dòng)報(bào)jing并停機(jī)，保障制程安全。通訊接口支持多種協(xié)議，可接入半導(dǎo)體產(chǎn)線自動(dòng)化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯。

超純水溫控設(shè)備以潔凈介質(zhì)、jing準(zhǔn)控溫與多場(chǎng)景適配的特性，為半導(dǎo)體制程提供穩(wěn)定、可靠的溫控支持，助力半導(dǎo)體行業(yè)潔凈制程的穩(wěn)定運(yùn)行。

LT系列低溫冷凍機(jī)

適用范圍 冠亞恒溫低溫冷凍機(jī)溫度范圍從-150℃到-5℃，采用二次過(guò)冷技術(shù)，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強(qiáng)，性能優(yōu)異。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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LTZ變頻系列低溫冷凍機(jī)組

適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機(jī)采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機(jī)組通過(guò)內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)??冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達(dá)到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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HLTZ系列氫氣換熱制冷機(jī)組

適用范圍 氫氣經(jīng)過(guò)內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過(guò)制冷劑直接與氫氣換熱，實(shí)現(xiàn)換熱控溫效率高；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對(duì)于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機(jī)，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒(méi)有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（99Mpa)組合…

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LG螺桿機(jī)組系列

適用范圍 本系列設(shè)備適?于各類(lèi)化?、醫(yī)藥、機(jī)械等領(lǐng)域?產(chǎn)?藝?yán)湓?，可提?110℃~30℃冷凍介質(zhì)，可作為冰蓄冷、低溫送?及其它?產(chǎn)?藝所要求的?藝?yán)湓础?產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度純水DI制冷控溫機(jī)組

適用范圍 應(yīng)用： 特別適合生產(chǎn)過(guò)程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)該場(chǎng)景。 常溫DI水進(jìn)入控溫機(jī)組，出需求目標(biāo)溫度DI水，解決了水在5℃以?xún)?nèi)控溫容易結(jié)凍問(wèn)題。 設(shè)備跟據(jù)不同的進(jìn)水量及溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)溫度及冷量達(dá)到目標(biāo)需求的DI溫度。 采用變頻調(diào)節(jié)，進(jìn)水流量不穩(wěn)定也可較好的調(diào)節(jié)輸出，達(dá)到較高的控溫精度要求。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …

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LTZ變頻M系列

LTZ變頻M系列，適合應(yīng)?于?標(biāo)控溫對(duì)象已經(jīng)有蓄冷罐、循環(huán)泵，通過(guò)循環(huán)泵將介質(zhì)輸送?LTZ
M系列制冷控溫機(jī)組，構(gòu)成?個(gè)閉合循環(huán)制冷系統(tǒng)。

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LTZ變頻帶加熱系列

LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機(jī)組采?先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機(jī)運(yùn)?轉(zhuǎn)速，通過(guò)電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循環(huán)器

桌面款制冷循環(huán)器使用面積小，制冷效率快，有效提升實(shí)驗(yàn)室及小型實(shí)驗(yàn)臺(tái)使用操作效率，高可靠性的產(chǎn)品解決用戶(hù)需求。

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